[發(fā)明專利]一種新型晶邊檢測儀穩(wěn)定性的監(jiān)控方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110265326.3
• 申請日: 2011-09-08
• 公開（公告）號: CN102435616A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發(fā)明（設計）人: 朱陸君;陳宏璘;倪棋梁;龍吟;郭明升;王凱
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01N21/93
• 分類號: G01N21/93
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

1.一種新型晶邊檢測儀穩(wěn)定性的監(jiān)控方法，用于確定所述晶片檢測儀是否能夠正常工作，其特征在于，包括如下步驟：

提供一成品晶片作為基準片，所述基準片的正面、背面及其圓周側面上均有多個不同尺寸、類型的缺陷；

分別制作多張所述基準片的正面、背面及其圓周側面的缺陷掃描圖；

分別制作正面原始圖、背面原始圖以及圓周側面原始圖，所述正面原始圖上包括部分所述基準片正面陷掃描圖上的缺陷，所述背面原始圖上包括部分所述基準片背面陷掃描圖上的缺陷，所述圓周側面原始圖上包括部分所述基準片圓周側面陷掃描圖上的缺陷；

進行日常檢測，將日常掃描圖與原始圖疊圖，將具有相同坐標的缺陷匯總求和，將增加的缺陷匯總求和；

分別對晶片的正面、背面及其圓周側面進行的捕獲率和失敗率計算，若捕獲率在90%~110%之間且失敗率不大于10%，則儀器合格結束監(jiān)控；

若捕獲率低于90%且失敗率大于10%，則停機檢查。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述分別制作多張所述基準片的正面、背面及其圓周側面的缺陷掃描圖的步驟中，還包括如下步驟：

分別掃描所述基準片的正面、背面及其圓周側面若干次；

每掃描一次所述基準片的正面形成一張相應的正面缺陷掃描圖；

每掃描一次所述基準片的背面形成一張相應的背面缺陷掃描圖；

每掃描一次所述基準片的圓周側面形成一張相應的圓周側面缺陷掃描圖。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，

所述正面原始圖上具有多個第一缺陷，所述第一缺陷出現(xiàn)在多張正面缺陷掃描圖的同一坐標位置的次數(shù)超過第一閾值；

所述背面原始圖上具有多個第二缺陷，所述第二缺陷出現(xiàn)在多張背面缺陷掃描圖的同一坐標位置的次數(shù)超過第二閾值；

所述背面原始圖上具有多個第三缺陷，所述第三缺陷出現(xiàn)在多張背面缺陷掃描圖的同一坐標位置的次數(shù)超過第三閾值。

4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，分別制作10張所述基準片的正面、背面及其圓周側面的缺陷掃描圖。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一閾值、第二閾值和第三閾值均為8。

6.如權利要求1至5中任意一項所述的方法，其特征在于，所述基準片的正面、背面和圓周側面上均具有的缺陷的個數(shù)取值范圍均在20顆至2000顆之間。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述基準片上缺陷的尺寸值范圍為0.5um至5um。