[發明專利]真空吸筆的滑槽結構有效
| 申請號: | 201110265056.6 | 申請日: | 2011-09-08 |
| 公開(公告)號: | CN103000560A | 公開(公告)日: | 2013-03-27 |
| 發明(設計)人: | 趙春慶;蔣劍波;莫毓東;吳國運 | 申請(專利權)人: | 昊誠光電(太倉)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 孫仿衛;趙艷 |
| 地址: | 215400 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 真空 滑槽 結構 | ||
1.真空吸筆的滑槽結構,其特征在于:所述滑槽結構包括起移動導向作用的導軌、可帶動所述真空吸筆沿所述導軌的軸向方向移動的移動機構、做為所述真空吸筆抽吸真空的通路的連通管,沿軸向方向在所述導軌的底部設置凹槽,所述凹槽的一對側壁的頂部相對折彎90度,所述一對側壁被折彎部分的端部再沿豎直方向朝上折彎90度形成一對卡邊,所述卡邊、所述側壁之間形成開口朝上的可供所述移動機構通行的一對滑槽。
2.根據權利要求1所述的滑槽結構,其特征在于:所述移動機構包括可沿所述一對滑槽滾動的一對滾輪、水平設置的連接所述一對滾輪的滾輪軸、以自身的一端連接所述滾輪軸的連桿,所述連桿的另一端豎直朝下。
3.根據權利要求1或2所述的滑槽結構,其特征在于:所述連通管的本體連接在所述連桿的另一端,所述連通管的一端向下折彎90度。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





