[發明專利]微流通道及其制備方法

有效

• 申請號: 201110248442.4
• 申請日: 2011-08-26
• 公開（公告）號: CN102423722A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 弓曉晶;劉爭暉;徐耿釗;鐘海艦;徐科;楊輝
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 孫佳胤;翟羽

1.一種微流通道，其特征在于：包括一具有原子臺階的支撐面，以及覆蓋于所述支撐面的石墨烯覆蓋層；所述微流通道由支撐面表面的原子臺階和石墨烯覆蓋層所圍攏的空間構成。

2.根據權利要求1所述的微流通道，其特征在于，所述支撐面的材料選自于III-V族化合物半導體、II-VI族化合物半導體、IV族化合物半導體以及單質半導體中的一種。

3.根據權利要求1所述的微流通道，其特征在于，所述石墨烯選自于單原子層石墨烯和多原子層石墨烯中的一種。

4.一種權利要求1所述結構的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：?提供一支撐襯底，所述支撐襯底由晶體材料構成；?對支撐襯底實施退火，在其表面形成具有原子臺階的支撐面；?在支撐面表面形成石墨烯覆蓋層，從而獲得由支撐面表面的原子臺階和石墨烯層所圍攏的空間構成的微流通道。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述在支撐面表面形成石墨烯覆蓋層進一步包括如下步驟：

提供一生長襯底；

采用化學氣相沉積的方法在生長襯底上制備石墨烯薄膜層；

將生長襯底置于生長襯底的腐蝕液中，使石墨烯薄膜層從生長襯底上剝離并漂浮在液面上；

用支撐襯底的具有原子臺階的支撐面將石墨烯薄膜從溶液中撈起，石墨烯材料的表面張力使得石墨烯薄膜層鋪展并吸附在支撐襯底的具有原子臺階的支撐面上。

6.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述在支撐面表面形成石墨烯覆蓋層進一步包括如下步驟：

提供一石墨片；

將石墨片的兩面貼敷膠膜；

撕開膠膜從而將石墨片一分為二；重復上述操作，使石墨薄片越來越薄，最終獲得石墨烯薄膜層；?

將石墨烯薄膜轉移到支撐襯底的具有原子臺階的支撐面，從而在支撐面上覆蓋石墨烯層。

7.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述在支撐面表面形成石墨烯覆蓋層進一步包括如下步驟：

提供一生長襯底；

選用化學氣相沉積的方法在生長襯底上制備石墨烯薄膜層；

在石墨烯薄膜層上涂敷粘附層，形成粘附層與石墨烯的復合薄膜層；

將生長襯底置于能夠腐蝕生長襯底的化學腐蝕液中，使石墨烯薄膜與粘附層從生長襯底上剝離并漂浮在液面上；

將石墨烯薄膜與粘附層的復合薄膜層壓印在支撐襯底的具有原子臺階的支撐面上；

將粘附層去除，從而在支撐襯底的具有原子臺階的支撐面上形成石墨烯層。