[發(fā)明專利]保護(hù)層處理方法及其裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110244551.9
• 申請日: 2011-08-20
• 公開（公告）號: CN102955596A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳猷仁;林坤榮
• 申請（專利權(quán)）人: 宸鴻科技(廈門)有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種保護(hù)層處理方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1：在基體上形成一保護(hù)層；

S2：通過一定位系統(tǒng)預(yù)先設(shè)定一預(yù)定圖案，存儲于該定位系統(tǒng)中；及

S3：通過一涂布裝置在該保護(hù)層的表面按所述預(yù)定圖案涂布蝕刻劑，以形成該保護(hù)層所需的圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：所述定位系統(tǒng)是精密定位系統(tǒng)，其定位精度≤20μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：所述保護(hù)層以二氧化硅制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：在保護(hù)層表面涂布蝕刻劑之后，還包括步驟S4：清洗，去除預(yù)定圖案內(nèi)的保護(hù)層材料及蝕刻劑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：所述蝕刻劑為膏狀蝕刻劑，即為蝕刻膏。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：所述蝕刻膏為氟化氫銨(NH₄HF₂)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：所述涂布裝置包括：

至少一個注射器，所述注射器中裝蝕刻劑，所述注射器的運(yùn)動速度和移動方向由所述定位系統(tǒng)控制；

壓力裝置，提供壓力給所述注射器，用以擠出所述注射器內(nèi)的蝕刻劑；及控制單元，控制所述壓力裝置的工作狀態(tài)及調(diào)整壓力大小。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：所述注射器的運(yùn)動速度為300-450mm/sec，所述蝕刻劑的粘度為11-28Pa*s，壓力裝置的壓力范圍為4-7Kgf/cm²。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保護(hù)層處理方法，其特征在于：所述基板上設(shè)有電極層，所述保護(hù)層形成于該電極層上。

10.一種保護(hù)層處理裝置，其特征在于：包括：

涂布裝置，以在保護(hù)層表面涂布蝕刻劑；

定位系統(tǒng)，與所述涂布裝置相接，并按一預(yù)定圖案控制所述涂布裝置的運(yùn)動速度和移動方向，以在保護(hù)層表面涂布蝕刻劑來形成保護(hù)層所需的圖案。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的保護(hù)層處理裝置，其特征在于：所述涂布裝置包括

至少一個注射器，所述注射器內(nèi)裝納蝕刻劑，并按照所述定位系統(tǒng)設(shè)定的預(yù)定圖案在保護(hù)層表面涂布蝕刻劑以形成保護(hù)層所需的圖案；

壓力裝置，提供壓力給所述注射器，用以擠出所述注射器內(nèi)的蝕刻劑；及控制單元，控制所述壓力裝置的工作狀態(tài)及調(diào)整壓力大小。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的保護(hù)層處理裝置，其特征在于：所述注射器還包括注射頭，所述蝕刻劑在壓力裝置的作用下從注射頭擠出。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的保護(hù)層處理裝置，其特征在于：所述壓力裝置包括高壓裝置及多個壓力開關(guān)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的保護(hù)層處理裝置，其特征在于：所述高壓裝置的壓力范圍是4-7Kgf/cm²。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的保護(hù)層處理裝置，其特征在于：所述涂布裝置還設(shè)有用于存放蝕刻劑的貯藏箱，所述注射器設(shè)有進(jìn)料口，所述進(jìn)料口與所述貯藏箱相連通。

16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的保護(hù)層處理裝置，其特征在于：所述定位系統(tǒng)包括位移傳感器、控制器、驅(qū)動電機(jī)、機(jī)械手臂和攝像機(jī)，所述位移傳感器連接于所述控制器，用于感測所述機(jī)械手臂的位置，并將機(jī)械手臂的位置信息傳輸至所述控制器；所述控制器連接于外部計算機(jī)，并接收所述位移傳感器所傳輸?shù)奈恢眯畔ⅲ凑沼嬎銠C(jī)中的圖案設(shè)定一預(yù)定圖案，從而控制所述驅(qū)動電機(jī)的運(yùn)作；所述驅(qū)動電機(jī)接收所述控制器的控制信號，驅(qū)動所述機(jī)械手臂執(zhí)行位移動作；所述攝像機(jī)連接并受控于所述控制器，用于確定保護(hù)層的起始位置。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的保護(hù)層處理裝置，其特征在于：所述機(jī)械手臂采用線性導(dǎo)軌和滾珠螺桿所構(gòu)成，并由X-Y-Z三軸方向的驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動所述機(jī)械手臂的運(yùn)動。