[發明專利]一種旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置及方法

無效

• 申請號: 201110221261.2
• 申請日: 2011-08-03
• 公開（公告）號: CN102277563A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 熊信柏;曾燮榕;鄒繼兆;謝盛輝;錢海霞;黎曉華
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: C23C18/02
• 分類號: C23C18/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

1.一種旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置，其特征在于：包括感應電源(6)以及與感應電源(6)相連的冷水機(7)和感應線圈(5)，在感應線圈內設置有沉積槽(4)，在沉積槽(4)內設置有用于夾持試樣的旋轉桿(12)，該旋轉桿與設置在沉積槽(4)上端的高速攪拌器(11)相連，且在所述沉積槽(4)上還設置有密封蓋(13)，沉積槽(4)還通過出液管(10)、冷卻管(9)、循環泵(2)、回液管(3)與溶液槽(1)相連形成閉合回路。

2.根據權利要求1所述的旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置，其特征在于：所述的旋轉桿(12)位于感應線圈(5)的中央。

3.根據權利要求1所述的旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置，其特征在于：所述的冷水機(7)還通過連接管(8)與冷卻管(9)相連形成回路。

4.根據權利要求1所述的旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置，其特征在于：所述的高速攪拌器(11)轉速為4000～30000rpm。

5.根據權利要求1所述的旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置，其特征在于：所述的沉積槽(4)采用石英、耐200℃以上的硅酸鹽玻璃或聚四氟乙烯制成。

6.根據權利要求1所述的旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置，其特征在于：所述的旋轉桿(12)和密封蓋(13)采用聚四氟乙烯制成。

7.一種采用權利要求1所述的旋轉感應熱沉積制備涂層或薄膜的裝置制備涂層或薄膜的方法，其特征在于：

1)首先，開啟冷水機(7)電源，對感應電源(6)、感應線圈(5)及冷卻管(9)進行冷卻；

2)然后，根據所需制備的涂層或薄膜的組成及相關參數將配制好的待沉積溶液放入溶液槽(1)中；

3)打開沉積槽(4)，將試樣夾持的旋轉桿(12)上，然后蓋好密封蓋(13)，開啟高速攪拌器(11)，并調節轉速至所需制備涂層或薄膜的預訂數值；

4)打開循環泵(2)電源，使待沉積溶液在沉積槽(4)、出液管(10)、冷卻管(9)、溶液槽(1)、回液管(3)中流動形成回路；

5)開啟感應電源(6)，設定所需制備涂層或薄膜的振蕩電流和沉積時間，進行涂層或薄膜沉積；

6)待達到所需沉積時間后，首先關閉感應電源(6)，使沉積過程停止，然后關閉高速旋轉器(11)，最后關閉循環泵(2)，取出試樣、超聲清洗、干燥，得到制備了涂層或薄膜的基體試樣。