[發明專利]空氣凈化裝置

無效

• 申請號: 201110219437.0
• 申請日: 2011-08-02
• 公開（公告）號: CN102814087A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 張豐堂;簡弘民
• 申請（專利權）人: 杰智環境科技股份有限公司
• 主分類號: B01D46/30
• 分類號: B01D46/30;B01D53/04;B01D53/86;B01D53/40
• 代理公司: 天津三元專利商標代理有限責任公司 12203
• 代理人: 崔鋼

技術領域

本發明涉及一種空氣凈化裝置，尤指一種于一筒體內部分隔出數個凈化室，且于各凈化室填充有凈化材，而于該筒體內部形成有連通該進氣口、各凈化室及該出氣口的氣流通道，以利用單一結構體將待凈化氣體進行連續性凈化程序的設計。

背景技術

半導體晶圓制造廠及TFT-LCD面板或太陽能光電制造業制程中，在濕蝕刻制程會使用到無機酸(硝酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸)及有機酸(如醋酸)等酸液，而在干蝕刻制程或洗凈程序會使用到大量的氟化合物(如PFC：NF₃、SF₆、CF₄、C₂F₆)，經凈化設備分解處理后衍生無機酸(硝酸、氫氟酸)；其中，有機酸及無機酸的比例配置不盡相同，主要的蝕刻作用由無機酸進行，加入有機酸(如醋酸)主要是使無機酸更穩定，提高蝕刻的良率，然而卻造成大量的毒性氣體、臭氣、白煙、NO₂黃煙或厭惡性異味排放。

再者，懸浮微粒(Suspended?particulate)泛指在氣流中懸浮的固態或液態粒子，在提及一般空氣質量時多以此為評估項目，在測量時則以高量采樣器作水平向過濾采氣測定。而懸浮微粒因不同粒徑的顆粒進入人體呼吸系統的能力差異極大，且一般醫學界認為10微米以下的顆粒方可進入人體呼吸道，其中又以2.5微米以下的顆粒對呼吸系統的危害最為強烈。目前一般環保單位對于空氣懸浮微粒的污染程度多改用「粒徑小于等于10微米的懸浮微粒(Particulate?matter≤10μm，簡稱PM10)」，在公衛界則多采用「粒徑小于等于2.5微米的懸浮微粒(Particulate?matter≤2.5μm，簡稱PM2.5)」以評估污染對健康的影響。此2.5微米以下的微粒因此又被稱為「可呼吸性懸浮粒子(Respirable?suspended?particle)」。

然而，以傳統冷凝法及吸收法目前最常采用的凈化設備(諸如以抽風與簡易濾網或一般吸附或水洗洗滌處理)，并無法完全去除上述存在于空氣中的懸浮微粒及酸性氣體(硝酸、硫酸、氫氟酸、鹽酸、氨、NO₂；尤其是氫氟酸、NO₂)等難處理的分子污染物，而且該等懸浮粒子若為人體吸入將引發身體健康的安危；同時該等酸性氣體于低濃度下即會產生惡臭，并易于排放管道產生次微米微粒的白煙或/及黃煙現象，極易影響廠房周圍生活環境而引發民眾抗議，同時也影響到廠房周圍其它高科技廠高階制程的產品良率。再者，尚有運用觸媒濾材來凈化處理空氣中含硫化合物、硝酸及醋酸等物質氣體的方法，該觸媒濾材凈化氣體的優點為含硫化合物、硝酸及醋酸等物質氣體的脫除效率高、反應溫度低、能源消耗低、避免生成二次污染物等，是一種環境友好的催化凈化技術。

發明內容

本發明所要解決的主要技術問題在于，克服現有技術存在的上述缺陷，而提供一種空氣凈化裝置，其具有設備體積小的功效，且具有利用線上再生而提升凈化效率的功效。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種空氣凈化裝置，是于一筒體內部分隔出數個凈化室，且于各該凈化室填充有凈化材，并于該筒體形成有進氣口與出氣口，而于該筒體內部形成有連通該進氣口、各該凈化室及該出氣口的氣流通道；借此，待凈化氣體由該進氣口導入，進而利用填充于不同凈化室的凈化材進行連續性的凈化，并由該出氣口將凈化后氣體導出。

其一，該筒體內部橫貫設置一多孔板，并于該多孔板上方頂天設置一縱隔板，遂于該縱隔板兩側分隔出第一凈化室與第二凈化室，而于該多孔板底側分隔出連通該第一凈化室底側與該第二凈化室底側的通道室，并令該進氣口的形成位置對應于該第一凈化室頂側，該出氣口的形成位置對應于該第二凈化室頂側，進而于該筒體內部形成有連通該進氣口、該第一凈化室頂側、該第一凈化室底側、該通道室、該第二凈化室底側、該第二凈化室頂側及該出氣口的氣流通道。