[發明專利]拉制1.6米單晶棒工藝

無效

• 申請號: 201110217605.2
• 申請日: 2011-08-01
• 公開（公告）號: CN102912427A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 陳春成;戚建靜
• 申請（專利權）人: 蘇州東泰太陽能科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛;趙艷

1.?一種拉制1.6米單晶棒工藝，將硅熔融液放置在石英坩堝，并使石英坩堝以規定的轉速進行旋轉，將待拉制1.6米的單晶棒分成若干個長度段：4段30mm、1段60mm、3段150mm、2段120mm、3段100mm、3段80mm以及4段50mm，其特征在于：在拉制過程中，

4段30mm長度段的溫度從-9度升至1度，單晶棒的拉速從1.35降至1.27，堝升速從0.136降至0.131；

1段60mm長度段的溫度為2度，單晶棒的拉速為1.25，堝升速為0.129；

3段150mm長度段的溫度為2度，單晶棒的拉速從1.24降至1.2，堝升速從0.127降至0.122；

2段120mm長度段的溫度為2度，單晶棒的拉速從1.18降至1.16，堝升速從0.119降至0.115；

3段100mm長度段的溫度為3度，單晶棒的拉速從1.14降至1.1，堝升速從0.111降至0.104；

3段80mm長度段的溫度從4度升至5度，單晶棒的拉速從1.08降至1.04，堝升速從0.1降至0.09；

4段50mm長度段的溫度從5度升至6度，單晶棒的拉速從1.02降至0.95，堝升速從0.086降至0.072；

所述的拉速、堝升速的速度單位為min/mm。

2.?根據權利要求1所述的拉制1.6米單晶棒工藝，其特征在于：4段30mm長度段的溫度分別為-9度、0度、0度和1度；單晶棒的拉速分別為1.35、1.3、1.28和1.27，堝升速分別為0.136、0.133、0.132和0.131。

3.?根據權利要求1所述的拉制1.6米單晶棒工藝，其特征在于：3段150mm長度段的單晶棒的拉速分別為1.24、1.22和1.2，堝升速分別為0.127、0.124、和0.122。

4.?根據權利要求1所述的拉制1.6米單晶棒工藝，其特征在于：2段120mm長度段的單晶棒的拉速分別為1.18和1.16，堝升速分別為0.119和0.115。

5.?根據權利要求1所述的拉制1.6米單晶棒工藝，其特征在于：3段100mm長度段的單晶棒的拉速分別為1.14、1.12和1.1，堝升速分別為0.111、0.108和0.104。

6.?根據權利要求1所述的拉制1.6米單晶棒工藝，其特征在于：3段80mm長度段的溫度分別為4度、4度和5度；單晶棒的拉速分別為1.08、1.04和1.04，堝升速分別為0.1、0.095和0.09。

7.?根據權利要求1所述的拉制1.6米單晶棒工藝，其特征在于：4段50mm長度段的溫度分別為5度、5度、5度和6度；單晶棒的拉速分別為1.02、1、0.98和0.95，堝升速分別為0.086、0.081、0.077和0.072。