[發(fā)明專利]超短脈沖激光制作金屬薄膜群孔的裝置及其方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110211814.6
• 申請日: 2011-07-27
• 公開（公告）號: CN102319960A
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發(fā)明（設計）人: 趙裕興;狄建科;張偉
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/16
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 王玉國;陳忠輝

1.超短脈沖激光制作金屬薄膜群孔的裝置，其特征在于：高頻率短脈沖激光器（1）的輸出端布置有光閘（2），光閘（2）的輸出端設置有擴束鏡（3），擴束鏡（3）的輸出端布置有45度全反射鏡（4），45度全反射鏡（4）的輸出端依次布置有振鏡（5）和掃描場鏡（6），掃描場鏡（6）正對于工作平臺（9），所述工作平臺（9）的上方布置有CCD對位觀察系統(tǒng)（7），所述工作平臺（9）上安裝有一組夾緊氣缸（8），所述工作平臺（9）的一側布置有吹氣系統(tǒng)（10），工作平臺（10）的另一側安裝有集塵系統(tǒng)（11），工作平臺（10）的下方也安裝有集塵系統(tǒng)。

2.根據(jù)權利要求1所述的超短脈沖激光制作金屬薄膜群孔的裝置，其特征在于：所述高頻率短脈沖激光器是波長為<355nm紫外或深紫外、脈寬在100fs～100ns、頻率在10KHz～50MHz的激光器。

3.利用權利要求1所述裝置制作金屬薄膜群孔的方法，其特征在于：加工前激光焦點聚焦于金屬薄膜的上表面，高頻率短脈沖激光器（1）發(fā)出的激光經(jīng)光閘（2）控制開關光，光閘（2）控制激光光束后經(jīng)過擴束鏡（3）對光束進行同軸擴束，改善光束傳播的發(fā)散角使光路準直，擴束后的光束到達45度全反射鏡（4），光路垂直改向，繼而到達振鏡（5）和掃描場鏡（6），掃描圖形轉化為數(shù)字信號，圖形轉化在工作平臺（9）上的金屬薄膜（12）上進行打孔，金屬薄膜（12）由夾緊氣缸（8）夾緊拉平，金屬薄膜（12）位于同一聚焦平面上，CCD對位觀察系統(tǒng)（7）將導入的定位標拍攝并抓取靶標，蝕刻產(chǎn)生的粉塵由吹氣系統(tǒng)（10）產(chǎn)生氣流，并根據(jù)振鏡掃描角度和激光焦距確定吹氣角度，由集塵系統(tǒng)（11）吸氣收集粉塵。