[發明專利]基板檢查裝置以及基板檢查方法

無效

• 申請號: 201110196776.1
• 申請日: 2011-07-13
• 公開（公告）號: CN102331429A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發明（設計）人: 高木修
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種基板檢查裝置，其特征在于，具備：

輸送部，其向第一方向輸送基板；

缺陷檢測部，其對向上述第一方向輸送過程中的上述基板的缺陷進行檢測；以及

圖像獲取部，其在上述輸送過程中獲取由上述缺陷檢測部檢測到的缺陷的圖像。

2.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其特征在于，

還具備缺陷選定部，該缺陷選定部選定由上述缺陷檢測部檢測到的缺陷中作為對象的缺陷，

上述圖像獲取部在上述輸送過程中獲取由上述缺陷選定部選定的缺陷的圖像。

3.根據權利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，

上述圖像獲取部具備能夠在與上述第一方向垂直的方向上移動的攝像部，

上述缺陷選定部根據上述攝像部的移動速度和上述輸送部輸送上述基板的輸送速度來選定作為上述對象的缺陷，以使排序后的缺陷中次序最靠前的缺陷作為對象。

4.根據權利要求3所述的基板檢查裝置，其特征在于，

上述攝像部能夠與上述第一方向平行地移動。

5.根據權利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，

還具備排序部，該排序部對由上述缺陷檢測部檢測出的缺陷進行排序，

上述缺陷選定部根據由上述排序部進行的排序來選定作為上述對象的缺陷。

6.根據權利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，

在存在通過上述缺陷選定部的選定未能成為對象的缺陷的情況下，上述輸送部將上述基板向與上述第一方向相反的第二方向折回來進行輸送，

上述圖像獲取部在向上述第二方向輸送過程中獲取未能成為上述對象的缺陷的圖像。

7.一種基板檢查方法，其特征在于，包括：

第一輸送步驟，其向第一方向輸送基板；

缺陷檢測步驟，其對在上述第一輸送步驟中向上述第一方向輸送過程中的上述基板的缺陷進行檢測；以及

圖像獲取步驟，其在上述第一輸送步驟的上述輸送過程中，獲取在上述缺陷檢測步驟中檢測到的缺陷的圖像。

8.根據權利要求7所述的基板檢查方法，其特征在于，還包括：

排序步驟，其對在上述缺陷檢測步驟中檢測到的缺陷進行排序；以及

缺陷選定步驟，其從上述缺陷檢測步驟中檢測出的缺陷中，根據上述排序步驟進行的排序來選定作為對象的缺陷，

其中，上述圖像獲取步驟在上述第一輸送步驟中上述輸送過程中獲取由上述缺陷選定步驟選定的缺陷的圖像。

9.根據權利要求8所述的基板檢查方法，其特征在于，

還包括第二輸送步驟，該第二輸送步驟在存在通過上述缺陷選定步驟未能成為對象的缺陷的情況下，將上述基板向與上述第一方向相反的第二方向折回來進行輸送，

其中，上述圖像獲取步驟在上述第二輸送步驟中向上述第二方向輸送上述基板的過程中獲取未能成為上述對象的缺陷的圖像。