[發明專利]無塵室

無效

• 申請號: 201110169404.X
• 申請日: 2011-06-22
• 公開（公告）號: CN102839832A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 陳登奎
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: E04H5/08
• 分類號: E04H5/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種無塵室結構。

背景技術

隨著半導體技術不斷的進步，IC工藝線徑不斷的縮小，因此外部空氣中含微污染物物質，如含硫物質等，對于工藝良率的影響，日益擴大。為了提升工藝良率，對于生產環境的凈化規格，相對提高，對無塵室的潔凈度要求也相對提高。而當操作員需要頻繁往返于無塵室及普通環境時，很可能使無塵室內的潔凈度降低。

發明內容

有鑒于此，有必要提供一種操作方便，并能夠保證無塵室潔凈度的無塵室結構。

一種無塵室，包括一艙體、設置于該艙體側壁上至少一個艙門、及設置于艙體內部的第一排塵裝置。該無塵室還包括第一料盤，其設置于該艙體內部，與非設置該艙門的第一側壁垂直，該第一料盤包括多個網孔。進料口，其設置于該第一側壁上，并位于該第一料盤上方。第二排塵裝，設置于該艙體內部且位于進料口的上方，用于當物料從該進料口進入該艙體中時，阻絕塵粒子隨物料進入。出料口，設置于靠近該艙體內底部，且位于第一側壁上，用于移出物料。

相對于現有技術，本發明提供的無塵室，通過在艙體的側壁上設置一進料口及一出料口，防止操作人員往返無塵室，而污染艙體內的空間。在艙體內部設置網狀的料盤，并于料盤上方設置排塵裝置，防止塵粒子累積于料盤之上，降低艙體內的潔凈度。從而，該無塵室可達到方便操作，并提升潔凈度的功能。

附圖說明

圖1為本發明的無塵室的立體圖。

主要元件符號說明

無塵室1艙體10側壁100、102頂部101艙門11第一料盤12進料口13出料口14第二料盤15腳輪16第一排塵裝置17第二排塵裝置18

如下具體實施方式將結合上述附圖進一步說明本發明。

具體實施方式

下面將結合附圖，對本發明作進一步的詳細說明。

請參閱圖1，為本發明的無塵室的立體圖。本發明的無塵室1包括一艙體10，且于艙體10的側壁上設有至少一艙門11。在本實施方式中，該艙體10為長方體，且于該艙體10的其中一與地面垂直的側壁100上設置艙門11。該艙體10內的頂部101上設有至少一將塵粒子排出并阻絕塵粒子進入的第一排塵裝置17。