[發(fā)明專利]圖案化導(dǎo)電元件的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110154066.2
• 申請(qǐng)日: 2011-06-09
• 公開（公告）號(hào): CN102820093A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施博盛;鄭嘉雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津富納源創(chuàng)科技有限公司;識(shí)驊科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01B13/00
• 分類號(hào): H01B13/00;H01B5/14
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括：

提供一基底；

在所述基底的一表面形成一圖案化粘膠層；

在所述圖案化粘膠層表面形成一碳納米管層；

固化所述圖案化粘膠層，形成對(duì)應(yīng)所述圖案化粘膠層的已被固定碳納米管層和未對(duì)應(yīng)所述圖案化粘膠層的未被固定碳納米管層；以及

去除所述未被固定碳納米管層，形成一圖案化碳納米管層。

2.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述圖案化粘膠層形成一預(yù)定圖案，且該預(yù)定圖案為單一圖形、多個(gè)相同的單一圖形的組合或多個(gè)不同的單一圖形的組合。

3.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述在基底的表面形成圖案化粘膠層的方法為通過(guò)噴涂法、刷涂法或印刷法直接形成一預(yù)定圖案。

4.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述形成一圖案化粘膠層的方法包括以下步驟：在基底表面涂敷一整層粘膠層；以及去除部分粘膠層而形成一預(yù)定圖案。

5.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述形成一圖案化粘膠層的方法包括以下步驟：

在所述基底的表面形成一掩模層，該掩模層定義一圖案化開孔；以及

在圖案化開孔內(nèi)形成圖案化粘膠層。

6.如權(quán)利要求5所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層將形成于整個(gè)第一掩模層和圖案化粘膠層表面。

7.如權(quán)利要求6所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述去除未被固定碳納米管層的方法為：通過(guò)去除掩模層去除掩模層表面的碳納米管層。

8.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層通過(guò)印刷法、沉積法或直接鋪設(shè)的方法形成于圖案化粘膠層表面。

9.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述碳納米管層形成于圖案化粘膠層表面后，位于圖案化粘膠層表面的碳納米管層會(huì)部分或全部浸潤(rùn)到圖案化粘膠層中。

10.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述圖案化粘膠層為UV膠層，且該UV膠層通過(guò)紫外光照射固化。

11.如權(quán)利要求1所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述去除未被固定碳納米管層的方法為膠帶粘結(jié)剝離法、清潔滾輪剝離法、激光刻蝕法、粒子束刻蝕法或電子束光刻法。

12.一種圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其具體包括：

提供一基底；

在所述基底的一表面形成一第一掩模層，該第一掩模層定義一圖案化開孔；

在圖案化開孔內(nèi)形成一圖案化粘膠層；

在所述第一掩模層和圖案化粘膠層的表面形成一碳納米管層，并固化所述圖案化粘膠層；以及

通過(guò)去除所述第一掩模層而去除第一掩模層表面的碳納米管層。

13.如權(quán)利要求12所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述在圖案化開孔內(nèi)形成一圖案化粘膠層的方法包括以下步驟：

在第一掩模層表面形成一第二掩模層，且該第二掩模層具有一與圖案化開孔對(duì)應(yīng)的開孔；

在圖案化開孔內(nèi)形成粘膠層；以及

去除第二掩模層。

14.如權(quán)利要求13所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述第一掩模層和第二掩模層為一自支撐結(jié)構(gòu)，所述去除第一掩模層或第二掩模層的方法為一體剝離。

15.如權(quán)利要求13所述的圖案化導(dǎo)電元件的制備方法，其特征在于，所述第一掩模層和第二掩模層的材料為高分子材料。