[發(fā)明專利]偏振方位角調(diào)整裝置以及激光加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110148815.0
• 申請(qǐng)日: 2011-06-01
• 公開（公告）號(hào): CN102267010A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 瀧川靖弘;成瀬正史;巖下美隆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23K26/06
• 分類號(hào): B23K26/06;G02B17/06
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張?zhí)焓?/td>

1.一種偏振方位角調(diào)整裝置，其特征在于，

具有光學(xué)單元，該光學(xué)單元具有：

偏振元件，其使入射來的激光的P波偏振成分透過，并且將所述激光的S波偏振成分進(jìn)行反射；以及

至少2個(gè)反射光學(xué)元件，其對(duì)由所述偏振元件反射后的所述激光的S波偏振成分進(jìn)行反射并向光路的下游側(cè)引導(dǎo)，

并且，該光學(xué)單元吸收所述P波偏振成分且將所述S波偏振成分向光路的下游側(cè)射出，

在所述光學(xué)單元中，將所述偏振元件和所述反射光學(xué)元件配置為，使得所述激光向所述光學(xué)單元入射的入射光軸和所述激光從所述光學(xué)單元射出的出射光軸同軸，且在使所述光學(xué)單元以所述入射光軸為中心旋轉(zhuǎn)的情況下，維持所述入射光軸以及所述出射光軸的光軸方向不變。

2.一種激光加工裝置，其射出激光而對(duì)被加工物進(jìn)行激光加工，

其特征在于，

在從射出所述激光的光源至所述被加工物為止的光路上具有光學(xué)單元，該光學(xué)單元調(diào)整所述激光的偏振方位角，并且吸收所述P波偏振成分，將所述S波偏振成分向光路的下游側(cè)射出，

所述光學(xué)單元具有：

偏振元件，其使入射來的激光的P波偏振成分透過，并且將所述激光的S波偏振成分進(jìn)行反射；以及

至少2個(gè)反射光學(xué)元件，其對(duì)由所述偏振元件反射后的所述激光的S波偏振成分進(jìn)行反射并向光路的下游側(cè)引導(dǎo)，

并且，將所述偏振元件和所述反射光學(xué)元件配置為，使得所述激光向所述光學(xué)單元入射的入射光軸和所述激光從所述光學(xué)單元射出的出射光軸同軸，且在使所述光學(xué)單元以所述入射光軸為中心旋轉(zhuǎn)的情況下，維持所述入射光軸以及所述出射光軸的光軸方向不變。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，

在從所述光學(xué)單元至所述被加工物為止的光路上，還具有將所述激光分光為2束激光的分光部，

將所述光學(xué)單元以所述入射光軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使得從所述光學(xué)單元射出的激光的偏轉(zhuǎn)角度相對(duì)于所述分光部成為45°的偏振方位角。

4.一種偏振方位角調(diào)整裝置，其特征在于，

具有光學(xué)單元，該光學(xué)單元具有：

偏振元件，其使入射來的激光的P波偏振成分透過，并且將所述激光的S波偏振成分進(jìn)行反射；以及

至少2個(gè)反射光學(xué)元件，其對(duì)透過所述偏振元件后的所述激光的P波偏振成分進(jìn)行反射并向光路的下游側(cè)引導(dǎo)，

并且，該光學(xué)單元吸收所述S波偏振成分且將所述P波偏振成分向光路的下游側(cè)射出，

在所述光學(xué)單元中，將所述偏振元件和所述反射光學(xué)元件配置為，使得所述激光向所述光學(xué)單元入射的入射光軸和所述激光從所述光學(xué)單元射出的出射光軸同軸，且在使所述光學(xué)單元以所述入射光軸為中心旋轉(zhuǎn)的情況下，維持所述入射光軸以及所述出射光軸的光軸方向不變。