[發(fā)明專利]金剛石和鋁的接合體及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110145074.0 | 申請日： | 2011-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN102263073A | 公開（公告）日： | 2011-11-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 橫田嘉宏;長尾護(hù);橘武史 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社神戶制鋼所 |
| 主分類號： | H01L23/373 | 分類號： | H01L23/373;H01L21/48;H01S5/024 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 雒運(yùn)樸 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金剛石 接合 及其 制造 方法 | ||
1.一種金剛石和鋁的接合體，其特征在于，在金剛石板上，按照從該金剛石板側(cè)開始的順序，具有由含硅鋁合金構(gòu)成的中間層和由純鋁或鋁合金構(gòu)成的金屬膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石和鋁的接合體，其特征在于，所述中間層形成傾斜組織，并且Si的平均含量為5質(zhì)量％以上的部分的厚度為5μm～100μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的金剛石和鋁的接合體，其特征在于，所述金屬膜和所述中間層的合計(jì)厚度為20μm～1mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的金剛石和鋁的接合體，其特征在于，所述金剛石板的所述中間層側(cè)的表面的表面粗糙度Ra在1～10μm的范圍。
5.一種金剛石和鋁的接合體的制造方法，其特征在于，是制造在金剛石板上，按照從該金剛石板側(cè)開始的順序，具有由含硅鋁合金構(gòu)成的中間層和由純鋁或鋁合金構(gòu)成的金屬膜的金剛石和鋁的接合體的方法，其中，
準(zhǔn)備在金剛石板上形成有由純鋁或含硅鋁合金構(gòu)成的金屬層的第一構(gòu)件，和在由純鋁或鋁合金構(gòu)成的金屬膜上被覆有含硅鋁合金釬料的第二構(gòu)件，在所述第一構(gòu)件的所述金屬層的表面和/或在所述第二構(gòu)件的所述含硅鋁合金釬料的表面涂布釬焊用助焊劑，以使涂布有釬焊用助焊劑的該表面成為重合面的方式使所述第一構(gòu)件和所述第二構(gòu)件重合，在惰性氣體氣氛中或真空氣氛中加熱該重合的所述第一構(gòu)件和所述第二構(gòu)件，通過加熱使所述含硅鋁合金釬料熔融，從而將所述金屬膜釬焊到所述第一構(gòu)件上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金剛石和鋁的接合體的制造方法，其特征在于，在釬焊溫度為590～605℃，釬焊時(shí)間為5～10分鐘的范圍進(jìn)行所述釬焊。
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