[發(fā)明專(zhuān)利]一種系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進(jìn)行批處理的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110143603.3
• 申請(qǐng)日: 2011-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102810457A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周俊芳;周蘭珠;張偉飛;蘭云;馬如軍;胡振華;嚴(yán)曉芬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 無(wú)錫華潤(rùn)上華半導(dǎo)體有限公司;無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/02
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進(jìn)行批處理的方法，包括以下步驟：對(duì)生產(chǎn)線(xiàn)上所有工藝按停片規(guī)則是否相同進(jìn)行分類(lèi)；按不同類(lèi)別分別定義了參考工藝和可參考工藝，對(duì)每一參考工藝定義了停片規(guī)則；對(duì)GUI中程序進(jìn)行優(yōu)化，使得匯總后的所有工藝停片規(guī)則導(dǎo)入系統(tǒng)后，系統(tǒng)能：(1)提供報(bào)表，給出每一批次未來(lái)可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片時(shí)能給出提示；(3)GUI中可對(duì)在線(xiàn)批次做批處理停片。

2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)提示停片規(guī)則并能進(jìn)行批處理的方法，其特征在于：報(bào)表還可以給出每一批次到達(dá)每一步驟的預(yù)測(cè)時(shí)間。