[發明專利]多臺鈦泵的并聯驅動電路

有效

• 申請號: 201110136628.0
• 申請日: 2011-05-25
• 公開（公告）號: CN102541135A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 樊仲維;李迎春;張正祥;徐偉力
• 申請（專利權）人: 北京國科世紀激光技術有限公司
• 主分類號: G05F1/56
• 分類號: G05F1/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及電子技術領域，具體是一種多臺鈦泵的并聯驅動電路。

背景技術

鈦泵是由許多厚為0.1～0.3mm、直徑為12～40mm的不銹鋼薄壁圓筒構成鈦泵陽極筒，以及在陽極的兩端厚為1～3mm的鈦陰極構成。鈦泵陽極筒的軸線與鈦陰極的表面垂直，二者之間加3～7KV的電壓，鈦泵陽極筒的軸向加1000～3000高斯的均勻磁場。鈦泵陽極筒中運動的電子，有軸向速度分量和徑向速度分量，鈦泵陽極筒內的電子會受到洛侖茲力作用和電場力作用，其運動為軸向的直線運動和橫截面上的輪滾線運動。使電子運動軌跡大大延長，電子與中性氣體分子的碰撞幾率增大，提高了電離效率，使得在很低的氣壓下也能發生放電。上述現象稱為潘寧放電。氣體分子和旋轉的電子碰撞而被電離成氣體離子，該氣體離子在電場的作用下，飛向并轟擊鈦陰極，產生兩種作用：1、濺射鈦原子，形成鈦膜；2、打出二次電子。上述過程中，濺射出來的鈦原子，淀積在鈦泵陽極筒的內壁和鈦陰極的表面上，形成新鮮的鈦膜維持鈦泵的抽氣能力。氣體離子的濺射能力隨著入射的該氣體離子的能量、質量和入射角的不同而不同，能量大、質量大的氣體離子的濺射能力也大。為了保證鈦泵陽極筒上的鈦膜的吸氣能力，必須保證足夠的濺射率，即要求有足夠的電壓，以保證氣體離子得到足夠的轟擊能量。通過該氣體離子轟擊，可打出二次電子，二次電子受電磁場作用進入旋轉電子云里，補充失去的電子。每個氣體分子被電離的同時，都至少放出一個電子，這些電子也進入到旋轉電子云里，它們和二次電子一起補償因跑到陽極上而損失的電子，從而能不斷地維持潘寧放電。

鈦泵的電源一般是使用5KV倍壓整流電源，負載電流大時，輸出電壓下降到幾百伏。通常用流過鈦泵正負極間的電流反映所抽空間的真空度。

現有技術中，一臺鈦泵需要一臺鈦泵電源。一臺鈦泵電源的外殼為一個3U機箱，因此在多臺鈦泵使用時，需要多個相適配的鈦泵電源，多個鈦泵電源進行工作造成成本的浪費，多個鈦泵電源又需要占用很大的空間。

發明內容

本發明的主要目的是提供一種多臺鈦泵的并聯驅動電路，使多臺鈦泵只需要一個鈦泵電源。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種多臺鈦泵的并聯驅動電路，其包括：電源接入端和至少兩個鈦泵電源接入點，所述鈦泵電源接入點連接鈦泵電源接線端，所述電源接入端與每一個鈦泵電源接入點之間串接有第一電阻或者所述鈦泵電源接入點與鈦泵電源接線端之間串接有第一電阻。

優選地，所述鈦泵電源接入點還通過第二電容連接接地端。

優選地，所述每個鈦泵電源接入點都通過分壓電路連接第一運算放大器的正電壓輸入端；

所述第一運算放大器的負電壓接入端通過第二電阻連接所述第一運算放大器的輸出端，所述第一運算放大器的輸出端為用于電流顯示信號采樣的第一采樣點。

優選地，所述第一運算放大器的正電壓輸入端或者所述第一運算放大器的輸出端為用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點，用于所述鈦泵電壓信號采樣的第二采樣點通過相互并聯的二極管連接在第二運算放大器的負電壓輸入端，所述第二運算放大器的負電壓輸入端為參考電壓接入端，所述第二運算放大器的輸出端輸出鈦泵電壓調節反饋信號。

優選地，所述每個鈦泵電源接入點都通過分壓電路連接第一運算放大器的正電壓輸入端；具體包括：所述鈦泵電源接入點與所述第一運算放大器的正電壓接入端之間串接有第三電阻，所述第一運算放大器的正電壓接入端還通過第四電阻連接接地端。

優選地，所述第一運算放大器的負電壓接入端還通過第五電阻連接接地端。

優選地，所述第一運算放大器的輸出端還分別通過第六電阻和第一電容連接接地端。

優選地，所述第五電阻與所述接地端之間還連接有第七電阻。

優選地，所述第一電阻的阻值為1M-10M歐姆，所述第二電阻的阻值為10-1M歐姆。

優選地，所述第三電阻與所述第四電阻的阻值比為(100-10000)∶1。

優選地，所述第七電阻為電位器。

實施本發明的技術方案，具有以下有益效果：本發明提供的多臺鈦泵的并聯驅動電路，使鈦泵電源的高壓輸出端經電阻隔離分別對多臺鈦泵進行供電，鈦泵電源輸出的功率大大減小，實現了一臺鈦泵電源穩定的供應多臺鈦泵的功能。另外，由該驅動電路中通過采樣電路采樣各臺鈦泵的電流信號，經具有高輸入阻抗的運算放大器放大該電流信號，送至比較電路，再反饋給鈦泵電源，實現鈦泵電源的電壓調節，使鈦泵得到的電壓更加穩定。

附圖說明