[發(fā)明專利]在球面面形干涉檢測(cè)中旋轉(zhuǎn)誤差控制裝置及其方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110106476.X
• 申請(qǐng)日: 2011-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN102305596A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈亦兵;劉勇;侯溪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué);中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種在球面面形干涉檢測(cè)中旋轉(zhuǎn)誤差控制裝置，其特征在于包括自準(zhǔn)直儀(16)和六個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)的被檢面裝置(8)，自準(zhǔn)直儀包括光源(1)、會(huì)聚透鏡(2)、第一分劃板(3)、半透半反鏡(4)、第二分劃板(5)、目鏡(6)、物鏡(7)；在同一光軸上順次設(shè)有目鏡(6)、第二分劃板(5)、半透半反鏡(4)、物鏡(7)、六個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)的被檢面裝置(8)；半透半反鏡(4)上方順次設(shè)有第一分劃板(3)、會(huì)聚透鏡(2)、光源(1)；六個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)的被檢面裝置(8)包括X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(9)、Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(10)、Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(11)、控制二維傾斜平臺(tái)(12)、U型旋轉(zhuǎn)臺(tái)(13)、導(dǎo)軌(14)和平行平板(15)；導(dǎo)軌(14)上從下到上依次設(shè)有X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(9)、Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(10)、Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(11)、控制二維傾斜平臺(tái)(12)、U型旋轉(zhuǎn)臺(tái)(13)和平行平板(15)；控制二維傾斜平臺(tái)(12)側(cè)面設(shè)有U型旋轉(zhuǎn)臺(tái)(13)；U型旋轉(zhuǎn)臺(tái)(13)上設(shè)有平行平板(15)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在球面面形干涉檢測(cè)中旋轉(zhuǎn)誤差控制裝置，其特征在于所述的平行平板(15)材料是前后兩面的偏角為????????????????????????????????????????????????的平板玻璃。

3.一種使用如權(quán)利要求1所述裝置的在球面面形干涉檢測(cè)中旋轉(zhuǎn)誤差控制方法，其特征在于光源(1)的發(fā)散光經(jīng)會(huì)聚透鏡(2)成像聚焦于第一分劃板(3)，再經(jīng)半透半反鏡(4)反射到物鏡(7)產(chǎn)生平行光，入射至平行平板(15)，若平行平板(15)與平行光垂直，反射光沿原路返回，再經(jīng)物鏡(7)聚焦于第二分劃板(5)，第二分劃板(5)上有刻度，調(diào)節(jié)平行平板(15)與自準(zhǔn)直儀的相對(duì)位置，在目鏡(6)后觀察聚焦十字線在第二分劃板(5)中的位置，若被檢面裝置(8)上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)(13)的旋轉(zhuǎn)角度有偏差，入射平行光與平行平板(15)的表面不垂直，在目鏡后觀察到十字線與第二分劃板的中心刻度不重合，接下來(lái)，U型旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)臺(tái)(13)，使用平行平板(15)的另一個(gè)表面來(lái)反射從自準(zhǔn)直儀出射的平行光，直到旋轉(zhuǎn)至觀察到十字線的中心與第二分劃板的中心重合；六個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)的被檢面裝置(8)實(shí)現(xiàn)六維自由度運(yùn)動(dòng)，分別是光軸方向的移動(dòng)z，垂軸方向的移動(dòng)x，y；繞x軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)、繞y軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，繞光軸z方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，其中z方向的自由度控制被檢面軸向運(yùn)動(dòng)，x、y方向的自由度控制被檢面與參考面共光軸，繞x軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)、繞y軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)的自由度控制被檢面的姿態(tài)，繞光軸z方向的轉(zhuǎn)動(dòng)的自由度控制180度位置的被檢面相對(duì)于0度位置繞光軸自身旋轉(zhuǎn)180度。