[發(fā)明專利]激光器腔鏡夾持機構、激光器諧振腔及激光器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110103374.2
• 申請日: 2011-04-25
• 公開（公告）號: CN102544988A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設計）人: 樊仲維;王培峰;石朝輝;周密;王小發(fā);閆曉超;毛柘;康治軍
• 申請（專利權）人: 北京國科世紀激光技術有限公司
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02;H01S3/081
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發(fā)明涉及一種激光器，尤其涉及一種可廣泛應用于工業(yè)領域中加工應用的全固態(tài)激光器。

背景技術

近幾年，隨著工業(yè)加工應用的激光器不斷開發(fā)，激光器在工業(yè)加工應用中越來越廣泛，如激光打標、激光調(diào)阻、激光太陽能電池劃膜、激光打孔、激光液晶修復等等，這一系列的應用都對激光器功率的穩(wěn)定性有著嚴格的要求。因此在滿足應用要求的前提下，將激光器做到穩(wěn)定輸出是激光器設計者們的終極目的。

激光器通常包括激勵源和諧振腔。為了達到激光器穩(wěn)定輸出的目的，通常采用增加包裝安全性、激光器殼體多次應力釋放、高穩(wěn)定性調(diào)整架等措施。這些措施往往能夠從一定程度上改善激光器功率的穩(wěn)定性，但不能完全達到激光器的穩(wěn)定輸出目標，且額外成本較高。這對市場經(jīng)濟條件下的制造廠商十分不利。

激光器諧振腔的穩(wěn)定性一直是工業(yè)應用激光器的難點，尤其在運輸、機床振動、激光器殼體應力變化以及調(diào)整架自身穩(wěn)定性不夠的條件下，經(jīng)常導致激光器失諧，嚴重影響激光功率的輸出。

此外，另有2004年2月25日公告的中國發(fā)明專利ZL99105276.5是從光學方面考慮的光學鎮(zhèn)定器方案，也僅僅是針對激勵源泵浦的功率出現(xiàn)大幅度變化時維持激光穩(wěn)定輸出，對諧振腔的機械穩(wěn)定性未提明顯改善，不能解決外力影響導致的激光器功率穩(wěn)定性不好。

鑒于此，有必要提供一種新的具有改進的諧振腔和具有改進的諧振腔的激光器。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在提供一種低成本、便于實現(xiàn)、能保證激光器功率穩(wěn)定性激光器腔鏡夾持結構、應用改夾持結構的諧振腔及激光器。

本發(fā)明一種激光器諧振腔包括兩側面夾角呈90°的第一夾持結構、固定在兩側面上的反射鏡、與第一夾持結構相對設置的第二夾持結構，以及固定在第二夾持結構上的全反鏡和基頻光部分輸出鏡；第一夾持結構包括位于兩反射鏡之間的第一通光孔和與第一通光孔垂直相通并朝向第二夾持結構開設的兩第二通光孔；第二夾持結構包括至少一個與第二通光孔對應且通向諧振腔外的第三通光孔，全反鏡和基頻光部分輸出鏡位于相同或相平行的平面上且二者均與第一通光孔平行；所述基頻光部分輸出鏡安裝在第三通光孔入口處。

本發(fā)明激光器諧振腔包括兩側面夾角呈90°的第一夾持結構、固定在兩側面上的反射鏡、與第一夾持結構相對設置的第二夾持結構，以及固定在第二夾持結構上的全反鏡和基頻光部分輸出鏡；第一夾持結構包括位于兩反射鏡之間的第一通光孔和與第一通光孔垂直相通并朝向第二夾持結構開設的兩第二通光孔；第二夾持結構包括至少一個與第二通光孔對應且通向諧振腔外的第三通光孔，全反鏡和基頻光部分輸出鏡位于相同或相平行的平面上且二者均與第一通光孔平行；所述基頻光部分輸出鏡安裝在第三通光孔入口處。

本發(fā)明激光器包括激勵源、諧振腔，工作介質(zhì)，所述諧振腔包括兩側面夾角呈90°的第一夾持結構、固定在兩側面上的反射鏡、與第一夾持結構相對設置的第二夾持結構，以及固定在第二夾持結構上的全反鏡和基頻光部分輸出鏡；第一夾持結構包括位于兩反射鏡之間的第一通光孔和與第一通光孔垂直相通并朝向第二夾持結構開設的兩第二通光孔；第二夾持結構包括至少一個與第一通光孔對應且通向諧振腔外的第三通光孔，全反鏡和基頻光部分輸出鏡位于相同或相平行的平面上且二者均與第一通光孔平行；至少基頻光部分輸出鏡安裝在第三通光孔入口處。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明采用兩側面夾角呈90°的第一夾持結構在側面上分別固定兩反射鏡、第二夾持結構固定全反鏡和與全反鏡平行或在一個平面上設置的基頻光部分輸出鏡構成的諧振腔，設計結構簡單，成本較低，便于實現(xiàn)，而且在第一夾持結構或第二夾持結構有輕微傾斜變化時，根據(jù)光線傳輸原理，仍能形成諧振結構，不會影響諧振腔的穩(wěn)定輸出。

附圖說明

圖1是本發(fā)明激光器的第一實施例示意圖；

圖2是圖1所示激光器使用過程中的抗失諧示意圖；

圖3是本發(fā)明激光器的第二實施例示意圖；

圖4是本發(fā)明激光器的第三實施例示意圖；

圖5是本發(fā)明激光器的第四實施例示意圖；

圖6是本發(fā)明激光器的第五實施例示意圖；

圖7是本發(fā)明激光器的第六實施例示意圖；

圖8是本發(fā)明激光器的第七實施例示意圖。

具體實施方式

下面請參附圖對本發(fā)明具有改進的諧振腔的激光器的各種優(yōu)選方式作出詳盡的說明。激光器通常包括激勵源、諧振腔、工作介質(zhì)三部分。