[發(fā)明專利]硅單晶爐爐蓋觀察窗無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110100368.1 | 申請日： | 2011-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN102181942A | 公開（公告）日： | 2011-09-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 惠夢君 | 申請（專利權）人： | 無錫市惠德晶體控制設備有限公司 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00;C30B15/26 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 劉宗杰 |
| 地址： | 214174 江蘇省無錫市惠山經*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅單晶爐爐蓋 觀察窗 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅單晶爐爐蓋觀察窗，其包括設置于硅單晶爐爐蓋之上的第一觀察窗和第二觀察窗，所述第一觀察窗的窗口處設置有若干個攝像頭，其特征在于：所述第一、第二觀察窗均設置于爐蓋所處平面的水平方向上。
2.根據權利要求1所述的硅單晶爐爐蓋觀察窗；其特征在于：所述攝像頭設置為2個，沿爐蓋的徑向線并列設置于第一觀察窗窗口處。
3.根據權利要求1所述的硅單晶爐爐蓋觀察窗；其特征在于：所述第一、第二觀察窗為橢圓形、矩形或長圓形的任一種結構。
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