[發(fā)明專利]一種單晶硅制絨液及其使用方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110094736.6 | 申請日： | 2011-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN102191565A | 公開（公告）日： | 2011-09-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 魏文文;勾憲芳;吳回君;孫晨財;陳呈;高榮剛;王鵬;姜利凱 | 申請（專利權(quán)）人： | 中節(jié)能太陽能科技（鎮(zhèn)江）有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 單晶硅 制絨液 及其 使用方法 | ||
1.一種單晶硅制絨液，包括無機(jī)堿性腐蝕液，其特征在于：所述無機(jī)堿性腐蝕液中添加有表面活性劑和醇類，所述表面活性劑的量相當(dāng)于堿性腐蝕液質(zhì)量的0.02～0.6％，所述醇類的量相當(dāng)于堿性腐蝕液質(zhì)量0.1～8％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨液，其特征在于：所述無機(jī)堿性腐蝕液由NaOH、KOH、Na2SiO3的一種或幾種混合溶于水中組成的腐蝕液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨液，其特征在于：所述無機(jī)堿性腐蝕液中堿性物質(zhì)的質(zhì)量百分比為0.4～4.5％。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨液，其特征在于：所述表面活性劑為分散劑MF和萘磺酸甲醛縮合物的混合物，所述分散劑MF和萘磺酸甲醛縮合物的質(zhì)量比為3～5∶1。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨液，其特征在于：所述醇類為異丙醇、乙二醇或無水乙醇。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單晶硅制絨液，其特征在于：所述醇類為乙二醇。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅制絨液，其特征在于：所述制絨液的溫度為75～85℃。
8.利用權(quán)利要求1～7中任一權(quán)利要求所述的單晶硅制絨液進(jìn)行制絨的方法，其特征在于：將單晶硅片放入制絨液中，保持溫度為75～85℃，腐蝕時間為10～15min。
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