[發明專利]一種用于減少電子元件制造工具機體的方法及設備

無效

• 申請號: 201110085615.5
• 申請日: 2011-04-07
• 公開（公告）號: CN102737954A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 陳群
• 申請（專利權）人: 陳群
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H05K13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種電子元件制造工具機體，尤其是一種用于減少電子元件制造工具機體的方法及設備。

背景技術

在本發明的至少一個態樣中系提供一種方法，其包括定位電子元件制造工具的真空負載室，藉以使真空負載室占據第一占地面積；把主機動力源定位在第二占地面積中，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域。此外，或者可選擇地，一個主機控制器可放置使得它所占據的覆蓋區域基本上與真空負載室的覆蓋區域重疊。此外還提供本發明的其他多個態樣。

發明內容

針對上述問題，本發明提供一種用于減少電子元件制造工具機體之方法及設備。

在本發明的至少一個態樣中系提供一種方法，其包括定位電子元件制造工具的真空負載室，藉以使真空負載室占據第一占地面積；把主機動力源定位在第二占地面積中，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域。此外，或者可選擇地，一個主機控制器可放置使得它所占據的覆蓋區域基本上與真空負載室的覆蓋區域重疊。此外還提供本發明的其他多個態樣。

具體實施方式

在本發明的至少一個態樣中系提供一種方法，其包括定位電子元件制造工具的真空負載室，藉以使真空負載室占據第一占地面積；把主機動力源定位在第二占地面積中，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域。此外，或者可選擇地，一個主機控制器可放置使得它所占據的覆蓋區域基本上與真空負載室的覆蓋區域重疊。此外還提供本發明的其他多個態樣。

一種用于減少電子元件制造工具覆蓋區域的方法，包括：定位電子元件制造工具的真空負載室，藉以使真空負載室占據第一占地面積；以及將主機動力源定位在第二占地面積，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少電子元件制造工具的覆蓋區域，其中把主機動力源定位在第二占地面積中，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，包括把主機動力源定位在第二占地面積中，其中整個第二占地面積位于第一占地面積中，其中第三占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少電子元件制造工具的覆蓋區域，且其中把主機控制器定位在第三占地面積中，其中第三占地面積的大部分位于第一占地面積中，包括把主機控制器定位在第三占地面積中，其中整個第三占地面積位于第一占地面積中，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域，其中把主機控制器定位在第二占地面積中，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，包括把主機控制器定位在第二占地面積中，其中整個第二占地面積位于第一占地面積中，還包括把主機動力源定位在第三占地面積中，其中整個第三占地面積位于第一占地面積中，一種降低航運電子元件制造工具所需之容器總數的方法，包括：把電子元件制造工具的真空負載室和主機動力源放入一個容器中，以使真空負載室與主機動力源之覆蓋區域重疊；以及航運所述容器，還包括把電子元件制造工具的主機控制器放入所述容器中，一種降低航運電子元件制造工具所需之容器總數的方法，包括：把電子元件制造工具的真空負載室和主機控制器放入一個容器中，以使真空負載室與主機控制器之覆蓋區域重疊；以及航運所述容器，一種用于減少電子元件制造工具的覆蓋區域的設備，包括：一真空負載室支架；一電子元件制造工具之一真空負載室，該真空負載室與該真空負載室支架連接，藉以使真空負載室占據第一占地面積；以及一主機動力源，連接在真空負載室支架上，藉以使主機動力源占據第二占地面積，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域，還包括連接在真空負載室支架上的主機控制器，藉以使主機控制器占據第三占地面積，其中第三占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域，其中整個第三占地面積位于第一占地面積中，一種用于減少電子元件制造工具的覆蓋區域的設備，包括：一真空負載室支架；一電子元件制造工具之一真空負載室，該真空負載室與該真空負載室支架連接，藉以使真空負載室占據第一占地面積；以及一主機控制器，連接在真空負載室支架上，藉以使主機控制器占據第二占地面積，其中第二占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域，其中整個第二占地面積位于第一占地面積中，在真空負載室支架上的主機動力源，藉以使主機動力源占據第三占地面積，其中第三占地面積的大部分位于第一占地面積中，藉以減少了電子元件制造工具的覆蓋區域，一種用于減少電子元件制造工具覆蓋區域的設備，包括：一電子元件制造工具，具有占據第一覆蓋區域的主機，以及一主機動力源，占據第二覆蓋區域，其中第二覆蓋區域基本上與第一覆蓋區域重疊，一種用于減少電子元件制造工具覆蓋區域的設備，包括：一電子元件制造工具，具有占據第一覆蓋區域的主機，以及一主機控制器，占據第二覆蓋區域，其中第二覆蓋區域基本上與第一覆蓋區域重疊。