[發明專利]一種同步數據傳輸總線系統及方法

有效

• 申請號: 201110081142.1
• 申請日: 2011-03-31
• 公開（公告）號: CN102739486A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 方欣;張志鋼;周金明
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: H04L12/40
• 分類號: H04L12/40;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種同步數據傳輸總線系統，應用于步進掃描投影光刻機工件臺和掩模臺同步控制，包括：

一塊原始位置數據接收卡，接收來自測量系統的原始位置數據；

若干塊運動控制卡，接收并計算處理所述原始位置數據后打包發送給其他運動控制卡；

一塊同步總線控制卡，存放所述原始位置數據對應的定義好的地址包，并實現對原始位置數據接收卡和運動控制卡的同步控制，所述地址包由一個包頭地址，若干個傳輸地址和一個包尾地址組成；

一組同步數據傳輸總線，連接所述同步總線控制卡、原始位置數據接收卡及運動控制卡，所述同步數據傳輸總線包含地址線、數據線、地址選通線、數據選通線和握手信號線，所述的握手信號線由原始位置數據接收卡和運動控制卡通過“線與”方式驅動輸出至同步總線控制卡，所述的地址線、地址選通線、數據選通線由同步總線控制卡驅動輸出至原始位置數據接收卡和運動控制卡；

一塊通訊總線控制卡，進行對同步總線控制卡、原始位置數據接收卡及運動控制卡的初始化配置及控制，初始化配置時將所述原始位置數據的存放地址定義成所述地址包；

一組通訊總線，實現所述通訊總線控制卡與同步總線控制卡、原始位置數據接收卡及運動控制卡間的通訊。

2.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述同步數據傳輸總線、同步總線控制卡、原始位置數據接收卡、運動控制卡、通訊總線和通訊總線控制卡均集成在一個機箱的同一背板上。

3.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述通訊總線采用PCI，VME或Compact?PCI總線協議形式。

4.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述通訊總線控制卡采用VxWorks，pSOS或RTLinux實時操作系統。

5.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述同步數據傳輸總線是一組非地址-數據復用的廣播總線。

6.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述數據線由當前數據傳輸周期尋址的板卡驅動輸出。

7.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述同步總線控制卡的核心控制邏輯采用CPLD或FPGA來實現。

8.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述同步總線控制卡包含一個先入先出式存儲器、一個總線控制模塊和一個數據接口模塊。

9.如權利要求8所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述先入先出式存儲器中存放了所有所述地址包，并按照事先定義好的順序依次輸出。

10.如權利要求8所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述的總線控制模塊包含了一個時鐘計數器，通過計數器的循環計數依次讀取所述先入先出式存儲器中的地址。

11.如權利要求10所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述總線控制模塊讀取到某個包頭地址時將重復進行該包頭地址傳輸，直到握手信號得到響應，然后連續輸出當前包的傳輸地址及包尾地址。

12.如權利要求11所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述數據接口模塊根據總線控制模塊輸出的地址及控制信號，完成地址的鎖存及譯碼及數據的輸入輸出控制。

13.如權利要求8所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述原始位置數據接收卡通過光纖接收來自位置測量系統的原始位置數據，并將原始位置數據存儲在先入先出式存儲器中。

14.如權利要求1所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述運動控制卡通過所述同步數據傳輸總線接收來自原始位置數據接收卡的原始位置數據，經過計算處理后將處理后的數據打包發送給其他運動控制卡。

15.如權利要求1或10所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述原始位置數據接收卡和每塊運動控制卡內部為每個地址包都配置了一個包握手方式配置寄存器和包數據更新狀態寄存器。

16.如權利要求15所述的同步數據傳輸總線系統，其特征在于，所述包握手方式配置寄存器包含ALWAYS位和SOFT位兩個位信息，用來配置該地址包的握手方式，分別表示直接握手和軟件握手。