[發(fā)明專利]拋光頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110039266.3
• 申請(qǐng)日: 2011-02-16
• 公開（公告）號(hào): CN102172887A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 路新春;王同慶;何永勇;雒建斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): B24B39/06
• 分類號(hào): B24B39/06
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成

1.一種拋光頭，其特征在于，包括：

蓋板；

主隔膜，所述主隔膜為環(huán)形且具有彈性，所述主隔膜固定在所述蓋板的下表面上；

基座，所述基座固定在所述主隔膜的下表面上；

柔性膜，所述柔性膜固定在所述基座的下表面上，其中柔性膜與所述基座限定出與外界連通的下腔室；和

保持環(huán)，所述保持環(huán)固定在所述基座的下表面上，所述保持環(huán)的徑向截面的面積沿從下向上逐漸減小。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭，其特征在于，其中所述蓋板、主隔膜和基座限定出與外界連通的上腔室，其中所述下腔室通過所述上腔室與外界連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述保持環(huán)的內(nèi)側(cè)面沿所述保持環(huán)的軸向延伸，且所述保持環(huán)的外側(cè)面向外傾斜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光頭，其特征在于，所述保持環(huán)的內(nèi)側(cè)面為臺(tái)階面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述柔性膜上一體地形成有多個(gè)環(huán)形肋，其中所述多個(gè)環(huán)形肋通過利用壓環(huán)固定在所述基座的下表面上以將所述柔性膜固定到所述基座上，相鄰兩個(gè)環(huán)形肋限定出一個(gè)環(huán)形空間，且最內(nèi)側(cè)環(huán)形肋限定出中心空間，所述下腔室由所述中心空間和全部的環(huán)形空間構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述主隔膜為彈簧或者橡膠件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述柔性膜由氯丁二烯或者硅橡膠制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述保持環(huán)通過螺栓固定在所述基座的下表面上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭，其特征在于，所述保持環(huán)由聚亞苯基硫醚、聚醚醚酮或者陶瓷制成。