[發(fā)明專(zhuān)利]電光學(xué)裝置用基板、電光學(xué)裝置以及電子設(shè)備

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110035087.2
• 申請(qǐng)日: 2011-02-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102163607A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佐藤尚
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/02
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/02;H01L29/786;H01L51/05;G02F1/167
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 陳海紅;徐健

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電光學(xué)裝置用基板、具有該電光學(xué)裝置用基板的電光學(xué)裝置以及具有該電光學(xué)裝置的電子設(shè)備。

背景技術(shù)

作為這種電光學(xué)裝置用基板的一個(gè)例子，例如有如下這樣的有源矩陣基板：用于有源矩陣驅(qū)動(dòng)方式的電泳顯示裝置等的電光學(xué)裝置，在基板上具有像素電極、用于選擇性驅(qū)動(dòng)該像素電極的掃描線(xiàn)、數(shù)據(jù)線(xiàn)、以及作為像素開(kāi)關(guān)元件的薄膜晶體管(TFT：Thin?Film?Transistor)。以上的構(gòu)成要素在基板上形成積層構(gòu)造。各構(gòu)成要素由層間絕緣膜分隔而配置在各層，并且經(jīng)由形成于層間絕緣膜的接觸孔(或者也稱(chēng)為“過(guò)孔”)適當(dāng)?shù)仉娺B接。

例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了通過(guò)使用印刷法在應(yīng)成膜的區(qū)域限定地涂覆材料而制造有機(jī)薄膜晶體管的技術(shù)。根據(jù)這樣的技術(shù)，能夠減少用于形成接觸孔的蝕刻工序。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-38337號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

但是，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，關(guān)于用于將單個(gè)或多個(gè)晶體管的端子之間電連接的連接線(xiàn)，依然采用蝕刻等方法來(lái)形成。因此，存在如下的技術(shù)問(wèn)題：在形成這樣的連接線(xiàn)時(shí)，需要遍及基板的整個(gè)面地進(jìn)行成膜，存在因在該膜內(nèi)產(chǎn)生的應(yīng)力而使基板發(fā)生彎曲的危險(xiǎn)。此外，由于在進(jìn)行圖案形成時(shí)形成于基板整個(gè)面的絕緣膜的一部分被去除而浪費(fèi)掉，因此還存在違反節(jié)省資源、低成本的要求的技術(shù)問(wèn)題。

本發(fā)明是鑒于例如上述的問(wèn)題而做出的，其目的在于提供一種能夠應(yīng)對(duì)節(jié)省資源及低成本的要求、且能夠抑制基板的彎曲的電光學(xué)裝置用基板、電光學(xué)裝置及電子設(shè)備。

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的電光學(xué)裝置用基板是具有排列有多個(gè)像素的顯示區(qū)域的電光學(xué)裝置用基板，包括：基板；像素電極，其按所述基板上的每個(gè)所述像素而設(shè)置；晶體管，其設(shè)于與所述基板上的所述像素電極相比的下層側(cè)；連接電極，其配置在與構(gòu)成該晶體管的柵極絕緣膜相比的上層側(cè)，在所述基板上的未形成所述柵極絕緣膜的區(qū)域內(nèi)，該連接電極形成為與所述晶體管的柵電極以及源、漏電極的至少一部分直接重疊，與所述晶體管電連接。

根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置用基板，在例如矩陣狀地排列有多個(gè)像素的顯示區(qū)域(適當(dāng)?shù)匾卜Q(chēng)為像素區(qū)域或像素顯示區(qū)域)，對(duì)按像素設(shè)置的像素電極施加圖像信號(hào)，從而能夠?qū)崿F(xiàn)所謂的有源矩陣方式的圖像顯示。

本發(fā)明的“晶體管”設(shè)于與基板上的像素電極相比的下層側(cè)。晶體管是例如按像素而設(shè)置的、與像素電極電連接的像素晶體管。該情況下，晶體管排列在矩陣狀地排列有多個(gè)像素的顯示區(qū)域中，作為各像素的開(kāi)關(guān)元件發(fā)揮功能，從而能進(jìn)行例如所謂的有源矩陣方式的圖像顯示。另外，晶體管可以是設(shè)于周邊區(qū)域(即位于顯示區(qū)域周邊的區(qū)域)的周邊晶體管。此時(shí)，晶體管例如被用作用于構(gòu)成驅(qū)動(dòng)電路(即X驅(qū)動(dòng)電路、Y驅(qū)動(dòng)電路)的電路元件，該驅(qū)動(dòng)電路進(jìn)行例如驅(qū)動(dòng)頻率高的驅(qū)動(dòng)方式中的較高速的開(kāi)關(guān)動(dòng)作、進(jìn)一步進(jìn)行電流放大動(dòng)作或電流控制動(dòng)作、整流動(dòng)作、電壓保持動(dòng)作等。作為周邊晶體管的用途，只要是與該電光學(xué)裝置的電光學(xué)工作相關(guān)，則無(wú)任何限定。

晶體管包括選擇性地設(shè)置在基板上的預(yù)定區(qū)域的柵極絕緣膜。在此，“選擇性地設(shè)于基板上的預(yù)定區(qū)域”是指僅設(shè)置在基板上的預(yù)定區(qū)域，換言之，僅設(shè)置在基板上的一部分區(qū)域。例如，通過(guò)噴墨法等涂覆法在基板上應(yīng)形成的區(qū)域涂覆絕緣材料而形成柵極絕緣膜。這樣選擇地設(shè)置的柵極絕緣膜，與遍及基板整個(gè)面而層疊絕緣材料后進(jìn)行圖案形成來(lái)形成柵極絕緣膜的情況相比，在其形成過(guò)程中不產(chǎn)生浪費(fèi)材料。因此，能夠應(yīng)對(duì)節(jié)省資源及低成本的要求。另外，由于不在基板整個(gè)面上形成柵極絕緣膜，因此能夠抑制基板的應(yīng)力。

晶體管可以是柵電極在基板上的層疊構(gòu)造中配置于與半導(dǎo)體層相比的上層側(cè)的頂柵型晶體管，也可以是柵電極在基板上的層疊構(gòu)造中配置于與半導(dǎo)體層相比的下層側(cè)的底柵型晶體管，還可以是柵電極配置于半導(dǎo)體層的上層側(cè)和下層側(cè)雙方的雙柵型晶體管。

本發(fā)明的“連接電極”形成在基板上的未形成柵極絕緣膜的區(qū)域內(nèi)。連接電極是用于將周邊晶體管與其他導(dǎo)電層(例如形成于基板上的用于實(shí)現(xiàn)電光學(xué)工作的各種布線(xiàn)、元件等)電連接的電極，例如由鋁等導(dǎo)電材料形成。在形成連接電極的區(qū)域不形成柵極絕緣膜，成為連接電極的連接對(duì)象即各種布線(xiàn)、元件等的導(dǎo)電層露出的狀態(tài)。