[發明專利]多級高精度微位移傳感器探頭有效
| 申請號： | 201110025009.4 | 申請日： | 2011-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN102175159A | 公開（公告）日： | 2011-09-07 |
| 發明（設計）人： | 王欣;謝亮;鞠昱;劉宇;漆曉瓊;孫可;滿江偉;袁海慶;祝寧華 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多級 高精度 位移 傳感器 探頭 | ||
【權利要求書】：
1.一種多級高精度微位移傳感器探頭，其中包括：
一光纖束；
一光纖束固定保護金屬套，該光纖束固定保護金屬套為中空圓柱體，在該光纖束固定保護金屬套的中心開有一固定孔，所述光纖束穿過該光纖束固定保護金屬套的固定孔固定。
2.根據權利要求1所述的多級高精度微位移傳感器探頭，其中光纖束是由多根不同芯徑或不同光場分布的光纖組成，其中光纖束中的光纖采用石英光纖或采用塑料光纖。
3.根據權利要求1所述的多級高精度微位移傳感器探頭，其中光纖束的一端拋磨形成傳感端面，光纖束的另一端的每根光纖有獨立的連接器，連接器是FC型或SC型或LC型連接器，通過連接器與傳感器系統中信號發射器和信號接收器任意連接，形成多種組合形式，以探測不同距離區間。
4.根據權利要求1所述的多級高精度微位移傳感器探頭，其中該光纖束固定保護金屬套的固定孔與光纖束為間隙配合。
5.根據權利要求1所述的多級高精度微位移傳感器探頭，其中光纖束穿過該光纖束固定保護金屬套的固定孔后用粘合劑固定，得到有效支撐和保護。
6.根據權利要求5所述的多級高精度微位移傳感器探頭，其中粘合劑選用環氧膠或紫外膠或黑膠。
7.根據權利要求1所述的多級高精度微位移傳感器探頭，其中光纖束的傳感端面與光纖束固定保護金屬套的端面一起拋磨形成光潔的傳感端面。
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