[發(fā)明專利]太陽能電池中的多孔氧化鋅薄膜的制備裝置及方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110003692.1 | 申請日： | 2011-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN102074372A | 公開（公告）日： | 2011-05-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張家雨;李君勁;管秋梅;張暉朝 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號： | H01G9/04 | 分類號： | H01G9/04;H01G9/20;H01G13/00;H01M14/00;H01L51/48;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽能電池 中的 多孔 氧化鋅 薄膜 制備 裝置 方法 | ||
1.一種太陽能電池中的多孔氧化鋅薄膜的制備裝置，其特征在于：該裝置包括真空室（4）、分別與該真空室（4）相連的用于向該真空室注入氬氣的高壓氬氣瓶（6）和用于控制從所述真空室（4）抽出氣體流量的分子泵（5）、放置在真空室（4）內(nèi)底部的鉭爐（1）和放置在真空室（4）內(nèi)上部的導(dǎo)電玻璃（3）、放置在鉭爐（1）內(nèi)的氮化硼坩堝（2），氧化鋅放置在氮化硼坩堝（2）內(nèi)，鉭爐（1）兩端鏈接電源。
2.一種太陽能電池中的多孔氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：首先將真空室（4）中真空度抽至???????????????????????????????????????????????，再通過高壓氬氣瓶（6）向真空室（4）中充入氬氣，再調(diào)節(jié)分子泵（5）抽出氣體流量，進(jìn)而穩(wěn)定真空室（4）中的真空度為5帕；再通過電壓源，緩慢的在鉭爐（1）兩端加上直流電流，這樣就會使氮化硼坩堝（2）中氧化鋅蒸發(fā)至導(dǎo)電玻璃（3），然后導(dǎo)電玻璃（3）上就會形成一層氧化鋅薄膜；再對形成的氧化鋅薄膜進(jìn)行溫度為450度的烘烤，就可以得到能夠應(yīng)用于太陽能電池多孔氧化鋅薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池中的多孔氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于：高壓氬氣瓶（6）以8毫升/每分的速率向真空室（4）中沖入氬氣；在鉭爐（1）兩端加上165安培的直流電流；在導(dǎo)電玻璃（3）上形成一層10微米厚多孔的氧化鋅薄膜。
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