[發明專利]線電極放電加工裝置

無效

• 申請號: 201080066936.4
• 申請日: 2010-05-21
• 公開（公告）號: CN102905832A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 江端恭一;鵜飼佳和;清原浩二
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: B23H7/02
• 分類號: B23H7/02
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

技術領域

本發明涉及線電極放電加工裝置，其在線電極和與該線電極隔著規定間隔相對配置的作為另一個電極的被加工物之間即極間，施加電壓而產生間歇性放電，對被加工物進行加工。?

背景技術

放電加工裝置是向線電極等刀具電極和被加工物之間（以下稱為“加工間隙”或“極間”）施加電壓，產生放電而進行加工的裝置。已知在放電加工裝置中，通過向極間施加高頻電壓而以高重復頻率發生持續時間短的放電，從而得到精細加工面，已公開有多種技術（例如，參照專利文獻1至6）。?

例如，公開了下述技術，即，在放電加工用電源中，通過向極間施加1.0MHz至5.0MHz的高頻電壓，得到小于或等于1μmRmax的加工面（例如，參照專利文獻1）。?

另外，公開了下述技術，即，在放電加工方法及其裝置、以及可用于該放電加工裝置的電容可變裝置及電感可變裝置中，通過在極間施加7.0MHz至30MHz的高頻電壓，得到小于或等于0.5μmRmax的加工面（例如，參照專利文獻2）。?

但是，在線電極放電加工裝置中，為了維持穩定的加工狀態，進行基于極間電壓的軸進給控制。如果線電極和被加工物接近而開始放電，則極間電壓下降，但進一步接近，則放電的周期變得越短、即放電越頻繁發生，極間電壓變得越低。由此可以判別極間距離是窄還是寬。?

因此，通常，在線電極放電加工裝置中，對加工過程中的極間電壓進行整流，變換為一種極性的電壓，基于該極間電壓的高低，判別極間狀態是放電開始前的開路狀態（斷開狀態）、短路狀態或放電?開始而達到短路狀態之前的放電中狀態中的哪一種狀態。?

由此，根據極間電壓進行線電極與被加工物的相對位置移動即軸進給的速度調整，可以維持穩定的加工。另外，公開了下述技術，即，通過利用傳感器線圈檢測極間電流，從檢測到的電流中去除重疊的偏移（offset）分量，從而即使在放電能量小的情況下，也可以正確地檢測出放電狀態（例如，參照專利文獻3）。?

另外，還公開了一種在從電源至充電電容器的通電路徑中設置分流電阻，將流過分流電阻的電流作為放電檢測信號進行提取的方法（例如，參照專利文獻4）。?

但是，在上述使用高頻電源的情況下，頻率大于或等于幾MHz的高頻電壓會超過整流電路的動作極限。因此，通常很難根據整流后的電壓，判別極間狀態是開路狀態、放電中狀態、或短路狀態中的哪一種。?

即，在使用高頻電源的情況下，有時很難進行與極間電壓相對應的軸進給的速度調整，有時無法維持穩定的加工狀態。反之，所謂可以使用高頻電源維持穩定的加工狀態的具體情況，例如是指可以利用定速進給應對的加工。更具體地說，作為一個例子，可以列舉像加工量不易發生變化的精加工這樣，沿著完成粗加工后的表面進行精加工的加工。?

但是，即使是精加工，在由于被加工物的變形等使得所需的加工量變化的情況下，利用定速進給，則會在加工面上形成紋路而殘留該痕跡。即，在加工量容易發生變動的情況下，很難使用高頻電源。另外，在第一次切割中，也很難使用高頻電源。?

由此，在使用高頻電源的線電極放電加工裝置中，可以改善加工面粗糙度，但為了對應最近市場的嚴格的要求質量，需要解決上述高頻電源相關的問題。?

專利文獻1：日本特開昭61－260915號公報?

專利文獻2：日本特開平7－9258號公報?

專利文獻3：日本特開2007－044813號公報?

專利文獻4：日本特開昭61－219521號公報?

專利文獻5：日本特開平07－001237號公報?

專利文獻6：日本特開平11－226816號公報?

發明內容

另外，如果為了進行軸進給控制而在極間設置用于判斷極間狀態的檢測電路或配線，則由于在極間導入寄生成分，從而會因該寄生成分的影響而使加工變得不穩定。由此會導致在加工面上形成紋路或表面粗糙度惡化，對于高頻電源而言，該影響尤為顯著。?

本發明是鑒于上述情況提出的，其目的在于可以得到一種線電極放電加工裝置，該線電極放電加工裝置為高頻電源用線電極放電加工裝置，其在線電極和隔著規定間隔而與該線電極相對配置的作為另一個電極的被加工物之間即極間，施加高頻電壓而產生放電，具有可以高精度地對被加工物進行加工的軸進給速度控制方式。?