[發明專利]包括分相共混聚合物的拋光墊及其制備和使用方法

無效

• 申請號: 201080060314.0
• 申請日: 2010-12-28
• 公開（公告）號: CN102686362A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 威廉·D·約瑟夫;加里·M·帕爾姆格倫;斯蒂芬·C·洛珀;克里斯托佛·N·勒施
• 申請（專利權）人: 3M創新有限公司
• 主分類號: B24D11/02
• 分類號: B24D11/02;B24D7/06;B24D18/00;B24B37/04
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 張爽;郭國清

1.一種紋理化拋光墊，其包括：

第一連續聚合物相和第二不連續聚合物相，其中所述拋光墊具有第一主側面以及與所述第一主側面相背的第二主側面，并且其中所述第一和第二主側面中的至少一個包括延伸到該側面中的多個凹槽。

2.根據權利要求1所述的拋光墊，其中所述多個凹槽具有約1μm至約5,000μm的深度。

3.根據權利要求1或2中任一項所述的拋光墊，其中所述墊在基本上垂直于所述第一和第二主側面的方向上具有圓形橫截面，其中所述圓限定徑向方向，并且其中所述多個凹槽為圓形，同心，且在所述徑向方向上間隔開。

4.一種拋光墊，其包括：

片材，其具有第一主側面以及與所述第一主側面相背的第二主側面，

多個拋光元件，其沿著基本上垂直于所述第一主側面的第一方向從所述第一主側面向外延伸，其中所述拋光元件的至少一部分與所述片材一體地形成并橫向連接以限制所述拋光元件相對于一個或多個其它拋光元件的橫向移動，但在基本上垂直于所述拋光元件的拋光表面的軸線上仍能夠移動，其中所述多個拋光元件的至少一部分包括第一連續聚合物相和第二不連續聚合物相。

5.一種拋光墊，其包括：支承層，其具有第一主側面以及與所述第一主側面相背的第二主側面；和

多個拋光元件，其粘結到所述支承層的所述第一主側面，其中每一拋光元件具有暴露的拋光表面，并且

其中所述拋光元件沿著基本上垂直于所述第一主側面的第一方向從所述支承層的所述第一主側面延伸，并且其中所述多個拋光元件的至少一部分包括第一連續聚合物相和第二不連續聚合物相。

6.根據權利要求5所述的拋光墊，其中每一拋光元件通過粘結到所述支承層而固定到所述第一主側面上。

7.根據權利要求6所述的拋光墊，其還包括與所述支承層相背的導向板，其中所述導向板包括延伸穿過所述導向板的多個孔，并且其中每一拋光元件的至少一部分延伸到對應的孔中。

8.根據權利要求7所述的拋光墊，其中每一拋光元件的一部分穿過所述對應的孔。

9.根據權利要求7所述的拋光墊，其中每一拋光元件具有凸緣，并且其中每一凸緣的周長大于所述對應的孔的周長。

10.根據權利要求5所述的拋光墊，其中所述導向板包含聚合物、共聚物、共混聚合物、聚合物復合材料或它們的組合。

11.根據權利要求5所述的拋光墊，其中所述導向板沿所述第一方向保持所述拋光元件的取向，同時允許所述拋光元件沿所述第一方向相對于所述導向板獨立地平移。

12.根據權利要求5所述的拋光墊，其還包括覆蓋所述導向板的至少一部分的拋光組合物分布層。

13.根據權利要求4所述的拋光墊，其還包括覆蓋所述第一主側面的至少一部分的拋光組合物分布層。

14.根據權利要求12或13所述的拋光墊，其中每個拋光元件沿所述第一方向延伸高出包括所述拋光組合物分布層的平面至少約0.25mm。

15.根據權利要求12或13所述的拋光墊，其中至少一些所述拋光元件的拋光表面與所述拋光組合物分布層的暴露的表面齊平。

16.根據權利要求12或13所述的拋光墊，其中至少一些所述拋光元件的拋光表面低于所述拋光組合物分布層的暴露的表面。

17.根據權利要求15或16所述的拋光墊，其中所述拋光組合物分布層包括硬度小于所述拋光元件的硬度的可磨蝕材料。

18.根據權利要求12或13所述的拋光墊，其中所述拋光組合物分布層包含至少一種親水性聚合物。

19.根據權利要求12或13所述的拋光墊，其中所述拋光組合物分布層包含泡沫。

20.根據權利要求5或12中任一項所述的拋光墊，其中每個拋光元件熱粘結到所述支承層。

21.根據權利要求5或12中任一項所述的拋光墊，其中所述支承層包括熱塑性聚氨酯。

22.根據權利要求1、4、5、12或13中任一項所述的拋光墊，其還包括固定到所述第二主側面上的適形層。