[發明專利]具有微米/納米圖案的注塑成型工具

有效

• 申請號: 201080056032.3
• 申請日: 2010-10-01
• 公開（公告）號: CN102713751A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 西奧多·貢布·尼爾森;布萊恩·巴倫伯格·奧爾森;杰斯珀·諾雷加爾;安德斯·克里斯滕森;克里斯蒂安·史密斯楚普;埃米爾·索佳
• 申請（專利權）人: 丹麥技術大學;尼爾技術有限責任公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;B29C45/37
• 代理公司: 上海金盛協力知識產權代理有限公司 31242
• 代理人: 段迎春

1.一種在注塑成型工具的作用表面之中或之上制造微米/納米結構圖案的方法，該方法包括：

提供注塑成型工具；

提供微米/納米結構壓印設備，其具有要被壓印到所述工具內的結構；以及

將該壓印設備應用于所述作用表面之中或之上，以便當該壓印設備至少部分位于在注塑成型工具的型腔內時將所述微米/納米圖案結構轉移給所述工具。

2.根據權利要求1所述的方法，其中壓印所述微米/納米圖案的所述作用表面在宏觀范圍內是非平面的。

3.根據權利要求1或者2所述的方法，其中壓印所述微米/納米圖案的所述作用表面在宏觀范圍內是彎曲的。

4.根據權利要求1所述的方法，當注塑成型工具為組裝形式時，上述組裝形式準備好，或者基本上準備好用于注塑成型時，進行壓印設備的應用。

5.根據權利要求1所述的方法，其中所述微米/納米圖案結構永久轉移給該工具。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述微米/納米圖案被直接壓印在工具之中或者之上。

7.根據權利要求1所述的方法，其中所述微米/納米圖案最初被壓印在預制層里，所述預制層隨后被處理以形成所期望的圖案。

8.根據權利要求1所述的方法，其中所述壓印設備包括第一和第二腔，第一和第二腔在所述壓印設備中被柔性中間構件分隔開，該柔性中間構件包括具有微米/納米壓印圖案的印模。

9.根據權利要求8所述的方法，該方法還包括：

將所述壓印設備定位在所述工具上，以便在第二型腔內形成實質上氣密的封閉體，該封閉體至少由相應工具表面和所述柔性中間構件來界定，并且，

改變所述第一和第二腔之間的相對壓力，以便通過朝所述工具表面移動所述柔性中間構件引起所述第二腔的容積下降，從而將所述微米/納米圖案壓印在工具之中或之上。

10.根據權利要求9所述的方法，其中所述壓印設備具有容器狀的形式，其具有要定位于所述工具上的開口端，該開口端限定出上述相應的工具表面。

11.根據權利要求8所述的方法，其中密封裝置設置在所述壓印設備的面對所述要被壓印的工具的那一部分上，該密封裝置設置成，與該工具表面相結合以提供所述第二腔實質上氣密的密封。

12.一種在注塑成型工具的作用表面之中或之上制造微米/納米圖案結構的方法，該方法包括：

提供工具；

提供底板，該底板具有位于上部的微米/納米結構圖案，

將該底板定位在所述工具的該作用表面上，所述底板的下部面對所述工具；以及

固定所述底板在所述工具內的位置，

其中接收該底板的所述作用表面在宏觀范圍內是非平面的。

13.根據權利要求12所述的方法，其中接收該底板的所述作用表面在宏觀范圍為彎曲的。

14.根據權利要求12所述的方法，其中該底板能根據注塑工具的作用表面的形狀而變形，優選通過塑性變形。

15.根據權利要求12所述的方法，其中該底板包括金屬。

16.根據權利要求12所述的方法，其中該底板的定位是通過從底板上部的這一側作用的相對過壓力來完成。

17.根據權利要求16所述的方法，其中通過與所述注塑成型工具協同工作的注塑系統提供過壓力，優選作為一種注塑成型工藝。

18.根據權利要求12所述的方法，其中該底板的定位是通過從所述底板下部的這一側作用的相對真空來完成。

19.根據權利要求12所述的方法，其中所述底板的定位通過導向裝置輔助完成。

20.一種注塑成型工具，其包括在該注塑工具作用表面之中或之上的微米/納米圖案結構，該結構根據如權利要求1所述的方法，或者根據如權利要求12所述的方法來轉移。