[發明專利]旋轉拋光墊

無效

• 申請號: 201080051180.6
• 申請日: 2010-11-09
• 公開（公告）號: CN102639299A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 格雷戈里·A·克恩勒;斯科特·R·庫勒;布蘭特·A·默根堡;舍恩·A·舒克內希特;愛德華·J·伍
• 申請（專利權）人: 3M創新有限公司
• 主分類號: B24D13/14
• 分類號: B24D13/14
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 梁曉廣;關兆輝

1.一種旋轉拋光墊，包括：

基板，具有正面、背面和垂直于所述正面和背面的旋轉軸線，所述基板進一步包括：

內部區域，鄰近并圍繞所述旋轉軸線；

外部區域，包圍所述內部區域；

具有第一平均尺寸的多個第一孔，位于所述內部區域內，并且從所述正面朝著所述背面延伸；以及

具有第二平均尺寸的多個第二孔，位于所述外部區域內，并且從所述正面朝著所述背面延伸，其中所述第一平均尺寸大于所述第二平均尺寸。

2.一種旋轉拋光墊，包括：

基板，具有正面、背面和垂直于所述正面和背面的旋轉軸線，所述基板進一步包括：

內部區域，鄰近并圍繞所述旋轉軸線；

外部區域，包圍所述內部區域；

具有第一孔密度的多個第一孔，位于所述內部區域內，并且從所述正面朝著所述背面延伸；以及

具有第二孔密度的多個第二孔，位于所述外部區域內，并且從所述正面朝著所述背面延伸，其中所述第一孔密度大于所述第二孔密度。

3.根據權利要求2所述的拋光墊，其中所述第一孔密度的范圍為每平方厘米1.5至5.0個，并且所述第二孔密度的范圍為每平方厘米0.8至1.5個。

4.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述多個第二孔包括根據彼此間隔開的一系列重復多邊形集聚布置的第二孔的第一子集。

5.根據權利要求4所述的拋光墊，其中所述多邊形集聚為六邊形集聚。

6.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述多個第一孔具有第一平均深度，并且所述多個第二孔具有小于所述第一平均深度的第二平均深度。

7.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述多個第一孔具有第一平均直徑，并且所述多個第二孔具有小于所述第一平均直徑的第二平均直徑。

8.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述多個第一孔占據第一平均體積，并且所述多個第二孔占據小于所述第一平均體積的第二平均體積。

9.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述基板包括開孔聚合物泡沫，當壓縮到原始體積的25%時，所述泡沫的壓縮變形值在2000至7000帕斯卡范圍內。

10.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中，所述內部區域的直徑為所述基板的直徑的20%至40%。

11.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中，所述內部區域占據的面積為所述正面的總面積的4%至16%。

12.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述孔的形狀大致為圓形。

13.根據權利要求1或2所述的拋光墊，還包括沿著所述背面的至少一部分延伸的背襯層，并且所述背襯層的彎曲模量大于所述基板的彎曲模量。

14.根據權利要求13所述的拋光墊，其中所述背襯層包括纖維材料，以便于聯接在具有鉤面附著表面的動力工具上。

15.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述多個第一孔包括存在于所述內部區域內的所有孔。

16.根據權利要求15所述的拋光墊，其中所述多個第二孔包括存在于所述外部區域內的所有孔。

17.根據權利要求1或2所述的拋光墊，其中所述外部區域進一步包括至少一個環形區域，并且其中所述多個第二孔進一步包括布置在所述至少一個環形區域中的第二孔的第二子集，所述第二子集從所述正面朝著所述背面延伸，并沿著至少一個圓環布置，每個圓環與所述正面共面，并且大致關于所述旋轉軸線對稱。

18.根據權利要求17所述的拋光墊，其中所述第二孔的第二子集具有特定直徑和相鄰孔之間的特定間距，并且所述特定直徑與所述特定間距之間的比值為至少0.2。

19.根據權利要求18所述的拋光墊，其中，所述特定直徑與所述特定間距的比值為至少0.3。

20.根據權利要求19所述的拋光墊，其中，所述特定直徑與所述特定間距的比值為至少0.35。

21.根據權利要求17所述的拋光墊，其中所述至少一個環形區域包括兩個或更多個環形區域，并且所述至少一個圓環包括位于各自的環形區域中并且彼此同心的兩個或更多個圓環。

22.一種旋轉拋光墊，包括：

基板，具有正面、背面和垂直于所述正面和背面的旋轉軸線，所述基板進一步包括：

內部區域，鄰近并圍繞所述旋轉軸線；

外部區域，包圍所述內部區域；以及

多個孔，所述多個孔從所述正面朝所述背面延伸，其中所述孔具有一定的尺寸分布，并且相對于所述外部區域，具有相對大尺寸的所述孔主要位于所述內部區域中。