[發明專利]太陽能電池、其制造方法及太陽能電池組件

有效

• 申請號: 201080050384.8
• 申請日: 2010-05-24
• 公開（公告）號: CN102598308A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 橋上洋;渡部武紀;大塚寬之
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: H01L31/068
• 分類號: H01L31/068;H01L31/0216
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李帆

1.太陽能電池，其包括：具有受光面和非受光面的半導體基板，形成于半導體基板中的pn結，設置在受光面和/或非受光面上的鈍化層，以及設置在受光面和非受光面上的電力提取電極，其中

所述鈍化層包括具有最多40nm厚度的氧化鋁膜。

2.如權利要求1所述的太陽能電池，其中所述鈍化層設置在p型半導體基板的非受光面上或n型半導體基板的受光面上。

3.如權利要求1或2所述的太陽能電池，其中所述鈍化層包括氧化鋁膜和其上設置的其它介電膜，該其它介電膜由氧化硅、氧化鈦、碳化硅或氧化錫形成。

4.如權利要求1～3中任一項所述的太陽能電池，其中所述電極為通過將導電性糊燒成獲得的燒結體，并且，該燒結體將包括氧化鋁膜的鈍化層貫通以使在所述電極和所述基板之間電接觸。

5.如權利要求4所述的太陽能電池，其中所述燒結體包含一種或多種元素的氧化物，所述元素選自由B、Na、Al、K、Ca、Si、V、Zn、Zr、Cd、Sn、Ba、Ta、Tl、Pb和Bi組成的組。

6.如權利要求4或5所述的太陽能電池，其中所述氧化鋁膜具有通過燒成步驟增加的內置負電荷。

7.如權利要求4～6中任一項所述的太陽能電池，其中通過燒結體的貫通將電極之下緊鄰設置的所述氧化鋁膜的區域除去，并且所述氧化鋁膜存在于除電極之下緊鄰設置的區域之外的至少一部分區域。

8.太陽能電池組件，其包括多個電連接的如權利要求1～7中任一項所述的太陽能電池。

9.太陽能電池的制造方法，包括步驟：在半導體基板中形成pn結，在半導體基板的受光面和/或非受光面上形成鈍化層，以及在受光面和非受光面上形成電力提取電極，

其中形成具有最多40nm厚度的氧化鋁膜作為鈍化層。

10.如權利要求9所述的方法，其中通過在500～900℃下將導電性糊燒成1秒～30分鐘，以形成將該鈍化層貫通而使該電極和該基板之間電接觸的燒結體，從而形成所述電極。

11.如權利要求10所述的方法，其中所述燒結體包含一種或多種元素的氧化物，所述元素選自由B、Na、Al、K、Ca、Si、V、Zn、Zr、Cd、Sn、Ba、Ta、Tl、Pb和Bi組成的組。

12.如權利要求10或11所述的方法，其中所述氧化鋁膜具有通過燒成步驟增加的內置負電荷。