[發(fā)明專利]具有色散補償?shù)拿}沖分裂器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201080042557.1
• 申請日: 2010-09-15
• 公開（公告）號: CN102511115A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設計）人: G·T·霍夫特;J·J·L·霍里克斯
• 申請（專利權）人: 皇家飛利浦電子股份有限公司
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;G02B27/12
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 王英;劉炳勝

1.一種脈沖分裂設備(5)，其適于從相關聯(lián)的脈沖照射源(2)接收具有中心波長(λ)的照射脈沖(10)并且針對每個輸入照射脈沖輸出多個子脈沖(11、12、15、17)，

所述脈沖分裂器包括：

具有第一材料(m₀)的第一區(qū)域(13)，所述第一材料具有第一折射率(n₀)，以及

具有第二材料(m₁)的第二區(qū)域(23)，所述第二材料具有第二折射率(n₁)；

其中，所接收的照射脈沖和所述脈沖分裂器(5)被配置為相互作用，從而使得至少第一和第二子脈沖(11、12)分別被所述第一區(qū)域中的第一光程長度(OP1)和所述第二區(qū)域中的第二光程長度(OP2)在時間上分離，并且

其中，所述第一光程長度(OP1)乘以相對于所述第一材料中的波長的群速度色散(GVD1)與所述第二光程長度(OP2)乘以相對于所述第二材料中的波長的群速度色散(GVD2)被平衡，從而使得所述第一和第二子脈沖(11、12)的色散展寬基本相等。

2.如權利要求1所述的設備，其中，所述第一區(qū)域(13)和所述第二區(qū)域(23)包括由所述第一材料和所述第二材料形成的公共界面(9)，其中，所述第一光程長度(OP1)和所述第二光程長度(OP2)通過所述公共界面彼此分離。

3.如權利要求2所述的設備，其中，所述公共界面(9)是基本為平面的界面，所述公共界面位于一對基本平行的反射表面(25、35)之間，所述反射表面被布置成朝向所述公共界面反射所述第一和第二子脈沖。

4.如權利要求1或3所述的設備，其中，分別通過所述中心波長處的所述第一折射率和/或所述第二折射率的二階導數(shù)來近似相對于所述第一材料和/或所述第二材料中的波長的群速度色散。

5.如權利要求3或4所述的設備，其中，通過要求在所述中心波長(λ)處滿足等式來使所述第一和第二子脈沖(11、12)的色散展寬基本相等，其中，所述第一折射率是n₀，且所述第二折射率是n₁。

6.如權利要求1所述的設備，其中，所述色散展寬在由所述相關聯(lián)的照射源的可調(diào)中心波長范圍限定的波長間隔內(nèi)是基本相等的。

7.如權利要求1所述的設備，其中，所述第一光程長度(OP1)乘以相對于所述第一材料中的波長的群速度色散與所述第二光程長度(OP2)乘以相對于所述第二材料中的波長的群速度色散被平衡，從而使得所述第一和第二子脈沖(11、12)的最寬脈沖寬度相對于所述第一和第二子脈沖的最小脈沖寬度的比率在因子2、1.6、1.3或1.1內(nèi)。

8.一種用于對對象(8)進行成像的光學系統(tǒng)(10)，所述系統(tǒng)包括：

-脈沖照射源(2)，其適于發(fā)射具有中心波長(λ)的照射脈沖，

-如權利要求1所述的脈沖分裂器(5)，以及

-光學探測器(4)，其能夠探測來自所述對象的反射輻射。

9.如權利要求8所述的光學系統(tǒng)，還包括具有一對光學部件(P1、P2)的第一色散補償單元，以及高階色散補償設備(210)，該設備適于與布置成通過在空間上分離不同的波長來補償一階色散的所述對光學部件(P1、P2)協(xié)作，所述補償設備具有相位板的形式，其中，通過對所述板的對應位置處的高度進行設計來調(diào)節(jié)針對每個波長的相位變化，從而基本補償高階色散。

10.一種用于對對象執(zhí)行光學成像的方法，所述方法包括：

-提供脈沖分裂設備(5)，其適于從脈沖照射源(2)接收具有中心波長(λ)的照射脈沖(10)并且針對每個輸入照射脈沖輸出多個子脈沖(11、12、15、17)，所述脈沖分裂器包括具有第一材料(m₀)的第一區(qū)域(13)以及具有第二材料(m₁)的第二區(qū)域(23)，所述第一材料具有第一折射率(n₀)，所述第二材料具有第二折射率(n₁)；以及

-將所接收的照射脈沖和所述脈沖分裂器(5)配置為相互作用，從而使得至少第一和第二子脈沖(11、12)分別被所述第一區(qū)域中的第一光程長度(OP1)和所述第二區(qū)域中的第二光程長度(OP2)在時間上分離，

其中，所述第一光程長度(OP1)乘以相對于所述第一材料中的波長的群速度色散(GVD1)與所述第二光程長度(OP2)乘以相對于所述第二材料中的波長的群速度色散(GVD2)被平衡，從而使得所述第一和第二子脈沖(11、12)的色散展寬基本相等。