[發明專利]復合傳感器

有效

• 申請號: 201080040181.0
• 申請日: 2010-06-16
• 公開（公告）號: CN102510995A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 成田勝俊;山岡英彥
• 申請（專利權）人: 豐田自動車株式會社
• 主分類號: G01C19/5733
• 分類號: G01C19/5733
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 蘇卉;車文

1.一種復合傳感器，具有：

第一單元，其包括相互對稱地配置、且能夠沿驅動方向及檢測方向進行位移的第一及第二振動器；

第二單元，其包括相互對稱地配置、且能夠沿與所述驅動方向及所述檢測方向相同的軸向進行位移的第三及第四振動器；

驅動部，其驅動所述第一、第二、第三及第四振動器，以使所述第一及第二振動器彼此、所述第三及第四振動器彼此以相互相反的相位進行振動，并使所述第一單元及所述第二單元彼此也以相互相反的相位進行振動；以及

檢測部，其檢測所述第一、第二、第三及第四振動器的所述檢測方向的位移。

2.根據權利要求1所述的復合傳感器，其中，

從由所述檢測部檢測出的所述第一、第二、第三及第四振動器的所述位移中抵消除去不必要的慣性力成分，并分別獨立地檢測加速度、角速度、角加速度及離心力。

3.根據權利要求1所述的復合傳感器，其中，

所述驅動部及所述檢測部與所述第一、第二、第三及第四振動器各自對應地分別具有第一、第二、第三及第四驅動部和第一、第二、第三及第四檢測部。

4.根據權利要求1所述的復合傳感器，其中，

所述第一單元和所述第二單元相向配置在呈線對稱的位置上。

5.根據權利要求1所述的復合傳感器，其中，

所述第一、第二、第三及第四振動器分別配置在呈點對稱的位置上。

6.根據權利要求1所述的復合傳感器，其中，

所述第一、第二、第三及第四振動器配置在同一基板上。

7.根據權利要求1所述的復合傳感器，其中，

所述第一單元和所述第二單元重疊地配置。

8.根據權利要求1所述的復合傳感器，其中，

所述第一單元和所述第二單元除了所述第一、第二、第三及第四振動器之外，還分別包括相同數量的追加振動器。

9.根據權利要求8所述的復合傳感器，其中，

所述驅動部，在追加所述追加振動器的情況下，當所述第一單元內及所述第二單元內的振動器整體為偶數時，對所述追加振動器進行驅動，使得相位相反的振動器的數量相同，并且，當所述第一單元內及所述第二單元內的振動器整體為奇數時，使所述追加振動器進行振動，該追加振動器的相位與所述第一單元內及所述第二單元內的最接近該追加振動器的振動器的相位相反。

10.根據權利要求3所述的復合傳感器，其中，

所述第一、第二、第三及第四檢測部分別具有檢測電極，該檢測電極使固定在支撐體上的梳齒狀的多個固定電極和多個可動電極彼此交替地相向配置，并通過電容的增減來檢測所述位移；

所述固定電極與所述可動電極的在所述檢測方向上的交替配置的位置關系為：配置成，當發生所述位移時在各個所述檢測部內所述多個固定電極和所述多個可動電極僅產生電容的增加變化或減少變化，并且，所述第一、第二、第三及第四振動器中、由所述驅動部驅動的驅動方向為相反相位的所述振動器所對應的所述檢測部彼此構成具有共同配置的對，且該對彼此具有不同的配置。

11.根據權利要求10所述的復合傳感器，其中，

在所述第一、第三振動器彼此在所述驅動方向上配置在同側、所述第二、第四振動器彼此在所述驅動方向上配置在同側、且所述第一、第二檢測部彼此和所述第三、第四檢測部彼此分別構成所述對的情況下，

所述第一、第三檢測部的所述檢測電極配置成在所述第一、第三振動器位移時電容增加或減少；

所述第二、第四檢測部的所述檢測電極配置成在所述第二、第四振動器位移時產生與所述第一、第三檢測部的所述檢測電極的電容變化相反的電容變化。

12.根據權利要求10所述的復合傳感器，其中，

在所述第一、第三振動器彼此在所述驅動方向上配置在同側、所述第二、第四振動器彼此在所述驅動方向上配置在同側、且所述第一、第二檢測部彼此和所述第三、第四檢測部彼此分別構成所述對的情況下，

所述第一、第二檢測部的所述檢測電極配置成在所述第一、第三振動器位移時電容增加或減少；

所述第三、第四檢測部的所述檢測電極配置成在所述第三、第四振動器位移時產生與所述第一、第二檢測部的所述檢測電極的電容變化相反的電容變化。