[發明專利]蒸發器、由蒸發器組成的機構和覆層設備

無效

• 申請號: 201080039475.1
• 申請日: 2010-07-08
• 公開（公告）號: CN102482761A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: K.布爾格;G.施奈德;C.赫韋格
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李永波;楊國治

1.一種蒸發器，帶有用于在真空中蒸發優選有機的材料以便尤其在制造有機的發光二極管或有機的太陽能電池和/或有機的電子器件時制造大面積覆層的熱源，該蒸發器包括帶有用于得到蒸發的材料的出口（5）的蒸發容器（3）和在該出口（5）后方布置的排出通道（7），得到蒸發的材料能夠通過該排出通道流向待覆層的材料，其特征在于，在材料蒸發期間能夠調整出口（5）的自由橫截面和/或排出通道（7）的自由橫截面。

2.按權利要求1所述的蒸發器，其特征在于，所述蒸發容器（3）布置成能相對所述排出通道（7）運動、優選回轉，并且通過所述蒸發容器（3）相對所述排出通道（7）的相對運動、優選相對回轉能夠調整所述出口（5）和/或所述排出通道（7）的自由橫截面。

3.按權利要求1或2所述的蒸發器，其特征在于，設置了調節和/或控制單元（12），用于根據額定值和/或實際值、優選氣相覆層率或混合比例調整所述出口（5）的自由橫截面和/或所述排出通道（7）的自由橫截面。

4.按前述之一所述的蒸發器，其特征在于，熱源是布置在蒸發容器（3）外部的、從外部僅通過熱輻射加熱蒸發容器（3）的輻射器（6）、優選石英輻射器、尤其雙管式石英輻射器。

5.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，優選金屬的蒸發容器（3）是薄壁的。

6.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，蒸發容器（3）和/或出口（5）具有伸長的、尤其線性的膨脹。

7.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，蒸發容器（3）設計成優選縱向開槽的、尤其金屬的管。

8.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，實現輻射器（6）的確保對蒸發容器（3）均勻加熱的數量和布置。

9.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，排出通道（7）是漏斗形的，并且得到蒸發的材料通過排出通道（7）能夠直接流到相對排出通道（7）運動的、待覆層的基底（14）上。

10.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，排出通道（7）的壁（8）能加熱，優選加熱到略微超過有機材料的蒸發溫度的溫度。

11.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，設置了用于監控蒸發容器（3）的區域內的溫度的傳感器件，所述傳感器件傳導信號地與溫度調節裝置連接。

12.按前述權利要求之一所述的蒸發器，其特征在于，設置了尤其能借助于水得到冷卻的殼體（2）。

13.由至少兩個蒸發器（1）組成的機構，在所述至少兩個蒸發器中有至少一個按前述權利要求之一所述那樣設計。

14.按權利要求13所述的機構，其特征在于，蒸發器（1）的蒸發容器（3）平行地取向。

15.按權利要求13或14所述的機構，其特征在于，蒸發器（1）、優選其殼體（2）布置成能夠相對彼此運動、優選回轉、尤其圍繞相互平行走向的回轉軸線（9）回轉。

16.覆層設備，帶有尤其是為內聯覆層設計的、按權利要求1至12之一所述的蒸發器（1）并且/或者帶有按權利要求13至15之一所述的由至少兩個蒸發器（1）組成的機構，并且帶有用于在待覆層的基底（14）和至少一個蒸發器（1）之間產生相對運動的器件。

17.按權利要求1至12之一所述的蒸發器（1）和/或按權利要求13至15之一所述的機構和/或按權利要求16所述的覆層設備（13）的應用，用于在真空中蒸發有機的材料以便在制造有機的發光二極管或有機的太陽能電池時制造大面積的覆層。