[發(fā)明專利]能量供給裝置及能量供給方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080034901.2
• 申請(qǐng)日: 2010-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN102470337A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 河崎仁彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 琳得科株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B01J19/12
• 分類號(hào): B01J19/12;H01L21/301;H01L21/304;C09J5/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 岳雪蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種能量供給裝置及能量供給方法，其通過向光反應(yīng)型的被照射體照射光而使被照射體進(jìn)行光反應(yīng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體晶片(以下，簡(jiǎn)稱為晶片)的處理裝置中，進(jìn)行如下處理：例如，通過在晶片的電路面上粘貼保護(hù)帶而進(jìn)行背面磨削，或者，通過粘貼切割帶而分割成多個(gè)芯片。在上述處理所使用的帶中，采用光硬化型(光反應(yīng)型)的粘接劑，在進(jìn)行上述處理后，通過能量供給裝置照射光使粘接劑硬化(進(jìn)行光反應(yīng))，從而減弱粘接力，以不使晶片破損的方式容易地進(jìn)行剝離(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

在專利文獻(xiàn)1的紫外線照射裝置的發(fā)光二極管安裝部件，配設(shè)有：排列在直線上的紫外線發(fā)光二極管；對(duì)該紫外線發(fā)光二極管的光進(jìn)行聚光并向晶片照射的圓筒形透鏡；冷卻發(fā)光二極管安裝部件的冷卻風(fēng)扇。紫外線照射裝置一邊通過冷卻風(fēng)扇冷卻由于點(diǎn)亮紫外線發(fā)光二極管而被加熱的發(fā)光二極管安裝部件一邊使其移動(dòng)，從而將被圓筒形透鏡聚光的紫外線向粘著帶的整個(gè)面照射。

專利文獻(xiàn)1：(日本)特開2007-329300號(hào)公報(bào)

但是，如專利文獻(xiàn)1所記載的紫外線照射裝置所示，在向粘接片(粘著帶)僅提供紫外線的能量的結(jié)構(gòu)中，存在粘接片的粘接劑層不能硬化至容易進(jìn)行剝離而不使晶片破損這種程度的不良情況。因此，希望開發(fā)一種使粘接片的粘接劑層適當(dāng)?shù)赜不姆椒ā?/p>

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述不良情況而做出的，目的在于提供一種能量供給裝置及能量供給方法，其使光反應(yīng)型的被照射體適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行光反應(yīng)。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明人潛心研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，使用照射高壓水銀燈的光照射裝置能夠使利用專利文獻(xiàn)1所記載的紫外線照射裝置不能適當(dāng)?shù)赜不恼辰觿舆m當(dāng)?shù)赜不Ｆ浣Y(jié)果是，在專利文獻(xiàn)1所述的紫外線照射裝置中，僅能夠向粘接劑層提供光能，但是在高壓水銀燈中，因?yàn)槌饽芤酝膺€提供熱能，所以能夠使粘接劑層硬化。即，例如，對(duì)被提供100以上水平的能量才開始硬化反應(yīng)的粘接劑層而言，若僅照射光能，則無論照射多少光能也僅達(dá)到98的水平，但是，除提供該光能以外還提供作為其他能量的熱能等，從而整體上向粘接劑層提供100以上的能量而能夠使其硬化。上述現(xiàn)象可以通過下述現(xiàn)象加以證實(shí)：在將水慢慢冷卻的情況下，即使達(dá)到0度水也存在不結(jié)冰的情況，但是，通過采取沖擊的方式提供能量，就能克服能障，一下子形成冰。本發(fā)明基于上述見解而做出。

即，本發(fā)明的能量供給裝置通過向光反應(yīng)型的被照射體照射光而使所述被照射體進(jìn)行光反應(yīng)，并且該能量供給裝置構(gòu)成為具備：第一能量供給裝置，其向所述被照射體提供規(guī)定波長(zhǎng)的光能；第二能量供給裝置，其將光能以外的能量或所述規(guī)定波長(zhǎng)以外的光能作為第二能量，向所述被照射體提供。

這時(shí)，在本發(fā)明的能量供給裝置中，優(yōu)選的是，所述被照射體能夠利用紫外線進(jìn)行光反應(yīng)，所述第一能量供給裝置提供規(guī)定波長(zhǎng)的紫外線。

另外，在本發(fā)明的能量供給裝置中，優(yōu)選的是，所述被照射體是具有紫外線硬化型的粘接劑層并粘貼于半導(dǎo)體晶片的粘接片。

而且，在本發(fā)明的能量供給裝置中，優(yōu)選的是，所述第一能量供給裝置提供從至少一個(gè)發(fā)光二極管發(fā)出的光能。

另外，在本發(fā)明的能量供給裝置中，優(yōu)選的是，所述第二能量供給裝置提供熱量、振動(dòng)、聲音、超聲波、電子射線、γ射線、X線及紅外線中的至少任意一種能量作為所述第二能量。

另一方面，本發(fā)明的能量供給方法通過向光反應(yīng)型的被照射體照射光而使所述被照射體進(jìn)行光反應(yīng)，該能量供給方法通過使用第一能量供給裝置和第二能量供給裝置實(shí)施第一能量供給步驟和第二能量供給步驟，其中，所述第一能量供給裝置產(chǎn)生規(guī)定波長(zhǎng)的光能，所述第二能量供給裝置產(chǎn)生光能以外的能量或所述規(guī)定波長(zhǎng)以外的光能作為第二能量，所述第一能量供給步驟向所述被照射體提供來自于所述第一能量供給裝置的所述第一能量，所述第二能量供給步驟向所述被照射體提供來自于所述第二能量供給裝置的所述第二能量。

這時(shí)，在本發(fā)明的能量供給方法中，優(yōu)選的是，所述第二能量供給裝置產(chǎn)生熱量、振動(dòng)、聲音、超聲波、電子射線、γ射線、X線及紅外線中的至少任意一種能量作為所述第二能量。

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，對(duì)硬化所需的能量(以下，簡(jiǎn)稱為硬化能量)為僅使用規(guī)定波長(zhǎng)的光能不能進(jìn)行光反應(yīng)、即僅使用單一波長(zhǎng)的光能不能克服能障的被照射體而言，在提供該規(guī)定波長(zhǎng)的光能前，或者提供該規(guī)定波長(zhǎng)的光能后，或者在正提供該規(guī)定波長(zhǎng)的光能時(shí)，通過提供光能以外的能量或規(guī)定波長(zhǎng)以外的光能作為第二能量，能夠克服能障，從而使被照射體適當(dāng)?shù)赜不?/p>