[發(fā)明專利]部件壓接裝置及部件壓接方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201080034128.X | 申請(qǐng)日: | 2010-08-05 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102473657A | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-05-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 森本昌宏;垣田信行;壁下朗 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L21/60 | 分類號(hào): | H01L21/60;G09F9/00;H05K13/04 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 汪惠民 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 部件 裝置 方法 | ||
1.一種部件壓接裝置,使多個(gè)壓接頭從上方與通過(guò)保持基板的基板定位部進(jìn)行了定位的基板的側(cè)緣部抵接,而向基板壓接部件,
所述部件壓接裝置具備:
框架,其并列設(shè)置有多個(gè)壓接頭,并將多個(gè)壓接頭分別支承為升降自如;
多個(gè)連桿機(jī)構(gòu),它們與各壓接頭對(duì)應(yīng)設(shè)置,并使各壓接頭分別進(jìn)行升降動(dòng)作;
壓接頭驅(qū)動(dòng)部,其使各個(gè)連桿機(jī)構(gòu)一起動(dòng)作,而使多個(gè)壓接頭一起升降,
各連桿機(jī)構(gòu)具有:
第一連桿構(gòu)件,其具有與壓接頭的上端連結(jié)成轉(zhuǎn)動(dòng)自如的一端;
第二連桿構(gòu)件,其具有與第一連桿構(gòu)件的另一端連結(jié)成轉(zhuǎn)動(dòng)自如的一端和在壓接頭的上方由框架支承為轉(zhuǎn)動(dòng)自如的另一端;
連結(jié)滑動(dòng)部,其和第一連桿構(gòu)件與第二連桿構(gòu)件的連結(jié)部連結(jié),
壓接頭驅(qū)動(dòng)部沿著與多個(gè)壓接頭的并列設(shè)置方向正交的水平方向驅(qū)動(dòng)各連桿機(jī)構(gòu)的連結(jié)滑動(dòng)部,使各連桿機(jī)構(gòu)的第一連桿構(gòu)件和第二連桿構(gòu)件沿著上下方向開(kāi)閉,而使多個(gè)壓接頭一起升降。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的部件壓接裝置,其中,
框架具備:
第一框架,其將多個(gè)壓接頭分別支承為升降自如;
第二框架,其與第一框架分體地構(gòu)成,對(duì)壓接頭驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行支承并將第二連桿構(gòu)件的另一端支承為能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的部件壓接裝置,其中,
壓接頭驅(qū)動(dòng)部具備:
第一滑動(dòng)件,其沿著多個(gè)壓接頭的并列設(shè)置方向進(jìn)行往復(fù)移動(dòng);
第二滑動(dòng)件,其與各連桿機(jī)構(gòu)的連結(jié)滑動(dòng)部連結(jié),經(jīng)由凸輪機(jī)構(gòu)被第一滑動(dòng)件驅(qū)動(dòng)而使各連桿機(jī)構(gòu)的連結(jié)滑動(dòng)部沿著與多個(gè)壓接頭的并列設(shè)置方向正交的方向移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的部件壓接裝置,其中,
各個(gè)壓接頭由框架支承為能夠沿著并列設(shè)置方向移動(dòng),并且各個(gè)連桿機(jī)構(gòu)由框架支承為能夠沿著壓接頭的并列設(shè)置方向移動(dòng),
第二滑動(dòng)件具有連結(jié)槽,該連結(jié)槽沿著壓接頭的并列設(shè)置方向延伸形成,且將各個(gè)連結(jié)滑動(dòng)部連結(jié)成沿著所述并列設(shè)置方向移動(dòng)自如。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的部件壓接裝置,其中,
壓接頭驅(qū)動(dòng)部的凸輪機(jī)構(gòu)是槽凸輪機(jī)構(gòu),該槽凸輪機(jī)構(gòu)具有相對(duì)于多個(gè)壓接頭的并列設(shè)置方向傾斜的槽。
6.一種部件壓接方法,使升降自如地并列設(shè)置而由框架支承的多個(gè)壓接頭從上方與基板的側(cè)緣部抵接,而向基板壓接部件,其中,
與各壓接頭對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)連桿機(jī)構(gòu)具有:第一連桿構(gòu)件,其具有與壓接頭的上端連結(jié)成轉(zhuǎn)動(dòng)自如的一端;第二連桿構(gòu)件,其具有與第一連桿構(gòu)件的另一端連結(jié)成轉(zhuǎn)動(dòng)自如的一端和在壓接頭的上方由框架支承為轉(zhuǎn)動(dòng)自如的另一端;連結(jié)滑動(dòng)部,其和第一連桿構(gòu)件與第二連桿構(gòu)件的連結(jié)部連結(jié),
對(duì)于多個(gè)連桿機(jī)構(gòu),沿著與多個(gè)壓接頭的并列設(shè)置方向正交的水平方向驅(qū)動(dòng)連結(jié)滑動(dòng)部,使第一連桿構(gòu)件和第二連桿構(gòu)件沿著上下方向以打開(kāi)的方式動(dòng)作,從而使多個(gè)壓接頭一起下降,
利用多個(gè)壓接頭對(duì)配置在基板的側(cè)緣部的多個(gè)部件進(jìn)行壓接,
之后,對(duì)于多個(gè)連桿機(jī)構(gòu),在所述水平方向上反向地驅(qū)動(dòng)連結(jié)滑動(dòng)部,使第一連桿構(gòu)件和第二連桿構(gòu)件沿著上下方向以關(guān)閉的方式動(dòng)作,從而使多個(gè)壓接頭一起上升。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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