[發(fā)明專利]具有偏壓正側(cè)和背側(cè)的影像傳感器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201080025334.4
• 申請(qǐng)日: 2010-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN102804377A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 約翰·P·麥卡滕;克里斯蒂安·亞歷山德魯·蒂瓦魯斯;約瑟夫·R·蘇馬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 全視科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 沈錦華

1.一種背照式影像傳感器，其包含：

傳感器層，其具有第一導(dǎo)電類型，所述傳感器層具有前側(cè)和與所述前側(cè)相對(duì)的背側(cè)，其中所述傳感器層安置于鄰近于所述前側(cè)的電路層與安置于所述背側(cè)上方的絕緣層之間；

一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)，其具有第二導(dǎo)電類型，所述一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)形成于所述傳感器層的至少一部分中鄰近于所述前側(cè)，并電連接到第一電壓端子，所述第一電壓端子用于以第一預(yù)定電壓對(duì)所述一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)加偏壓；及

背側(cè)阱，其具有所述第二導(dǎo)電類型，所述背側(cè)阱形成于所述傳感器層中鄰近于所述背側(cè)，并電連接到第二電壓端子，所述第二電壓端子用于以不同于所述第一預(yù)定電壓的第二預(yù)定電壓對(duì)所述背側(cè)阱加偏壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背照式影像傳感器，其中所述第一導(dǎo)電類型包含p導(dǎo)電類型，且所述第二導(dǎo)電類型包含n導(dǎo)電類型。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背照式影像傳感器，其進(jìn)一步包含：

多個(gè)光檢測(cè)器，其具有所述第一導(dǎo)電類型，所述多個(gè)光檢測(cè)器用于將入射于所述背側(cè)上的光轉(zhuǎn)換成光生電荷，每一光檢測(cè)器都具有空乏區(qū)，其中所述多個(gè)光檢測(cè)器安置于所述傳感器層中鄰近于所述前側(cè)；

多個(gè)電荷-電壓轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其具有所述第一導(dǎo)電類型，所述多個(gè)電荷-電壓轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)安置于所述傳感器層中鄰近于所述前側(cè)；及

轉(zhuǎn)移柵極，其用于將每一電荷-電壓轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)電連接到相應(yīng)光檢測(cè)器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的背照式影像傳感器，其中具有所述第二導(dǎo)電類型的所述阱通過(guò)具有所述第二導(dǎo)電類型的一個(gè)或一個(gè)以上連接區(qū)電連接到所述第二電壓端子。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的背照式影像傳感器，其中具有所述第二導(dǎo)電類型的所述背側(cè)阱直接連接到所述第二電壓端子。

6.一種背照式影像傳感器，其包含：

傳感器層，其具有第一導(dǎo)電類型，所述傳感器層具有前側(cè)和與所述前側(cè)相對(duì)的背側(cè)，其中所述傳感器層安置于鄰近于所述前側(cè)的電路層與安置于所述背側(cè)上方的絕緣層之間；

一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)，其具有第二導(dǎo)電類型，所述一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)形成于所述傳感器層的至少一部分中鄰近于所述前側(cè)，并電連接到第一電壓端子，所述第一電壓端子用于以第一預(yù)定電壓對(duì)所述一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)加偏壓；

背側(cè)阱，其具有所述第二導(dǎo)電類型，所述背側(cè)阱形成于所述傳感器層中鄰近于所述背側(cè)；

第二電壓端子，其安置于所述傳感器層的所述前側(cè)上；及

一個(gè)或一個(gè)以上連接區(qū)，其具有所述第二導(dǎo)電類型，所述一個(gè)或一個(gè)以上連接區(qū)安置于所述背側(cè)阱與所述第二電壓端子之間，并電連接到所述背側(cè)阱和所述第二電壓端子，所述第二電壓端子用于以不同于所述第一預(yù)定電壓的第二預(yù)定電壓對(duì)所述背側(cè)阱加偏壓。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的背照式影像傳感器，其進(jìn)一步包含：

多個(gè)光檢測(cè)器，其具有所述第一導(dǎo)電類型，所述多個(gè)光檢測(cè)器用于將入射于所述背側(cè)上的光轉(zhuǎn)換成光生電荷，每一光檢測(cè)器都具有空乏區(qū)，其中所述多個(gè)光檢測(cè)器安置于所述傳感器層中鄰近于所述前側(cè)；

多個(gè)電荷-電壓轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，其具有所述第一導(dǎo)電類型，所述多個(gè)電荷-電壓轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)安置于所述傳感器層中鄰近于所述前側(cè)；及

轉(zhuǎn)移柵極，其用于將每一電荷-電壓轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)電連接到相應(yīng)光檢測(cè)器。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或權(quán)利要求7所述的背照式影像傳感器，其中所述第一導(dǎo)電類型包含p導(dǎo)電類型，且所述第二導(dǎo)電類型包含n導(dǎo)電類型。

9.一種影像擷取器件，其包含：

背照式影像傳感器，其包含：

傳感器層，其具有第一導(dǎo)電類型，所述傳感器層具有前側(cè)和與所述前側(cè)相對(duì)的背側(cè)，其中所述傳感器層安置于鄰近于所述前側(cè)的電路層與安置于所述背側(cè)上方的絕緣層之間；

一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)，其具有第二導(dǎo)電類型，所述一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)形成于所述傳感器層的至少一部分中鄰近于所述前側(cè)且電連接到第一電壓端子，所述第一電壓端子用于以第一預(yù)定電壓對(duì)所述一個(gè)或一個(gè)以上區(qū)加偏壓；

背側(cè)阱，其具有所述第二導(dǎo)電類型，所述背側(cè)阱形成于所述傳感器層中鄰近于所述背側(cè)；

第二電壓端子，其安置于所述傳感器層的所述前側(cè)上；及

一個(gè)或一個(gè)以上連接區(qū)，其具有所述第二導(dǎo)電類型，所述一個(gè)或一個(gè)以上連接區(qū)安置于所述背側(cè)阱與所述第二電壓端子之間且電連接到所述背側(cè)阱和所述第二電壓端子，所述第二電壓端子用于以不同于所述第一預(yù)定電壓的第二預(yù)定電壓對(duì)所述背側(cè)阱加偏壓。