[實用新型]一種可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020636344.9
• 申請日: 2010-12-01
• 公開（公告）號: CN202003945U
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 倪圖強;魏強;徐朝陽
• 申請（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;徐雯瓊

1.一種可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其設(shè)置在等離子體處理裝置的反應(yīng)腔頂部，其特征在于，所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置包含：

第一氣體分布區(qū)（31）連接第一氣體供應(yīng)管道（11）；

第二氣體分布區(qū)（33）連接第二氣體供應(yīng)管道（12）；

其中還包含一氣體切換裝置（20）選擇性地聯(lián)通第一氣體供應(yīng)管道或第二氣供應(yīng)管道到可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置的第三氣體分布區(qū)（32）。

2.如權(quán)利要求1所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述第一氣體管道（11）和第二氣體管道（12）上分別設(shè)置有流量控制裝置（40）。

3.如權(quán)利要求1所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述第一氣體分布區(qū)（31）位于可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置的邊緣；所述第二氣體分布區(qū)（33）位于可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置的中心；所述第三氣體分布區(qū)（32）位于所述第一和第二氣體分布區(qū)之間。

4.如權(quán)利要求2所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述氣體切換裝置（20）連接到所述第一氣體供應(yīng)管道（11）和第二氣體供應(yīng)管道（12）上的流量控制裝置（40）的氣體輸出端。

5.如權(quán)利要求1所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述氣體切換裝置（20）設(shè)置有第一切換開關(guān)（21）、第二切換開關(guān)（22），并設(shè)置有輸出管（23）與第三氣體分布區(qū)（32）連通。

6.如權(quán)利要求5所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述第一切換開關(guān)（21）選擇性的聯(lián)通所述第一氣體供應(yīng)管道（11）與輸出管（23）；所述第二切換開關(guān)（22）選擇性的聯(lián)通所述第二氣體供應(yīng)管道（12）與輸出管（23）。

7.如權(quán)利要求6所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述氣體切換裝置（20）選擇所述第一切換開關(guān)（21）和第二切換開關(guān)（22）之一開通。

8.如權(quán)利要求5所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述第一切換開關(guān)（21）和第二切換開關(guān)（22）是閥門。

9.如權(quán)利要求1所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述第一氣體供應(yīng)管道（11）與第二氣體供應(yīng)管道（12）供應(yīng)相同成分的氣體到第一、第二氣體分布區(qū)。

10.如權(quán)利要求1所述可調(diào)多區(qū)氣體分布裝置，其特征在于，所述第一氣體供應(yīng)管道（11）與第二氣體供應(yīng)管道（12）供應(yīng)不同成分的氣體到第一、第二氣體分布區(qū)。