[實用新型]ST雙級真空泵無效

申請號：	201020629168.6	申請日：	2010-11-26
公開（公告）號：	CN201925132U	公開（公告）日：	2011-08-10
發明（設計）人：	曹玉成	申請（專利權）人：	上海俊隆真空設備有限公司
主分類號：	F04B41/06	分類號：	F04B41/06;F04B37/14
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	201800 ***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	st 真空泵
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【權利要求書】：

1.ST雙級真空泵，包括一泵體，在所述泵體上分別設有吸氣口和排氣口，所述吸氣口上還設有吸氣止位閥，所述吸氣止位閥的上方還設有吸氣過濾裝置，在所述泵體的內部還設有一泵腔，其特征在于：在所述泵腔內壓設有一偏心中壁，所述偏心中壁將所述泵腔一分為二，形成相互獨立的高級轉子腔和低級轉子腔，在所述高級轉子腔內設有高級轉子，所述低級轉子腔內設有低級轉子，所述高級轉子的一端穿過所述偏心中壁與所述低級轉子相連，所述高級轉子的另一端通過聯軸器與電機相連，在所述高級轉子與所述低級轉子上均設有旋片槽，所述旋片槽內卡設有旋片，所述高級轉子與所述低級轉子通過設置在所述泵腔兩端的端蓋被封裝在所述泵體內。

2.根據權利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于：所述排氣口是由一排高級轉子排氣口和一個低級轉子排氣口所組成；

在所述低級轉子排氣口的下方還設有一低級轉子吸氣口，在所述排氣口的外側還設有一排氣閥座；

在所述排氣閥座上還設有兩組高級轉子排氣孔和一組低級轉子排氣孔；

所述兩組高級轉子排氣孔與所述一組低級轉子排氣孔之間相互隔開；

在所述兩組高級轉子排氣孔與所述一組低級轉子排氣孔的每個排氣孔上均設有排氣閥。

3.根據權利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于：所述偏心中壁的偏心距為15-20度之間。

4.根據權利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于：在所述低級轉子的內圈上還設有鍵位槽，所述鍵位槽對應的所述高級轉子上還設有限位凹槽；

所述限位凹槽與所述鍵位槽相卡接，使得所述高級轉子上的高級旋片槽與所述低級轉子上的低級旋片槽之間呈現90度夾角。

5.根據權利要求1所述的ST雙級真空泵，其特征在于：所述高級旋片槽在所述高級轉子上的數量為三個或三個以上；

所述高級旋片槽在所述高級轉子上為傾斜設置，且中心偏角為15-20度之間；

所述低級旋片槽在所述低級轉子上的數量也為三個或三個以上；?

所述低級旋片槽在所述低級轉子上也為傾斜設置，且中心偏角在18-25度之間。