[發(fā)明專利]一種用于數(shù)字光刻系統(tǒng)的光強(qiáng)不均勻性測(cè)量與校正方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610216641.X
• 申請(qǐng)日: 2016-04-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105652607A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜元清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)春長(zhǎng)光天辰光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 長(zhǎng)春眾益專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 22211
• 代理人: 趙正

1.一種用于數(shù)字光刻系統(tǒng)的光強(qiáng)不均勻性測(cè)量與校正方法，其特征在于由 以下步驟實(shí)現(xiàn)：

1)光強(qiáng)不均勻性的測(cè)量

(1)利用積分球?qū)CD相機(jī)標(biāo)定，以去除CCD隨機(jī)噪聲對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；

(2)將DMD物面分為N×N的矩形區(qū)域陣列；

(3)利用已標(biāo)定的CCD相機(jī)在光刻系統(tǒng)的像面位置B次采集每一個(gè)矩形區(qū) 域的光強(qiáng)信息，取B次采集結(jié)果的平均值，去除隨機(jī)誤差的影響，得到每一個(gè) 矩形區(qū)域的光強(qiáng)分布；

(4)將區(qū)域的光強(qiáng)分布圖合并，得到像面的整體光強(qiáng)分布圖；

(5)將所合并的像面光強(qiáng)分布圖，根據(jù)光刻物鏡的放大倍率的倒數(shù)1/M， 放大至DMD物面實(shí)際的矩形區(qū)域尺寸，得到DMD面上的整體光強(qiáng)分布；

2)光強(qiáng)不均勻性的校正

(1)各行疊加后，獲取一維光強(qiáng)分布；

(2)選取基準(zhǔn)值

對(duì)步驟(1)中疊加后的一維分布，取其最小值作為基準(zhǔn)值；

(3)獲取所需關(guān)閉的像素

(4)獲取照明校正板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光強(qiáng)不均勻性測(cè)量與校正方法，其特征在于：像 面光強(qiáng)分布的測(cè)量是在測(cè)量之前，利用積分球?qū)CD標(biāo)定，爾后，將DMD分 成8×8的小區(qū)域，分別對(duì)每一個(gè)區(qū)域采集10幅灰度圖像，經(jīng)過(guò)平均運(yùn)算去除 CCD噪聲，再經(jīng)過(guò)4倍放大，得到每一個(gè)區(qū)域最終的灰度分布；之后再將所有 小區(qū)域的圖像拼接，從而獲得像面光強(qiáng)的二維分布，如下式的矩陣I_m,n所示，其 中a_m,n表示各像素的灰度值

3.根據(jù)權(quán)利要求1和2所述的光強(qiáng)不均勻性測(cè)量與校正方法，其特征在于： 將二維分布I_m,n的各行疊加，得到一維的光強(qiáng)分布。

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對(duì)疊加后的值，取其最小值作為基準(zhǔn)值，即I_min＝min{I_n}。