[實(shí)用新型]一種掩膜板存儲(chǔ)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020584469.1
• 申請(qǐng)日: 2010-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN201856993U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李琦;劉文龍;高健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號(hào): B65D81/18
• 分類號(hào): B65D81/18;B65D79/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種掩膜板存儲(chǔ)裝置，包括：存儲(chǔ)盒及壓縮空氣存儲(chǔ)端口；所述存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口之上，所述存儲(chǔ)盒的底部對(duì)角線位置的兩角分別設(shè)置有進(jìn)氣口，所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口的頂部對(duì)角線位置的兩角分別設(shè)置有出氣口，所述進(jìn)氣口同所述出氣口的位置相對(duì)應(yīng)，使得所述進(jìn)氣口同所述出氣口貼合對(duì)接，其特征在于，還包括可動(dòng)件和傳感器，所述每一可動(dòng)件配合一所述傳感器構(gòu)成一套件，每一所述套件分別對(duì)應(yīng)安裝于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上的一所述出氣口附近；所述可動(dòng)件垂直于所述存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上的方向安裝于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)且可進(jìn)行上下移動(dòng)，所述可動(dòng)件的一端位于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，另一端位突出于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口；所述傳感器垂直于所述可動(dòng)件固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上，當(dāng)所述可動(dòng)件向下移動(dòng)到一定程度時(shí)所述傳感器的一端同所述可動(dòng)件相接觸。

2.如權(quán)利要求1所述的掩膜板存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述可動(dòng)件包括套筒、彈簧和移動(dòng)桿，所述套筒固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，所述彈簧固定于所述套筒內(nèi)，所述移動(dòng)桿垂直于所述存儲(chǔ)盒放置于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上的方向固定于所述彈簧上，所述移動(dòng)桿的一端位于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口內(nèi)，另一端位突出于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口，隨著彈簧的被壓縮和伸張，所述移動(dòng)桿可進(jìn)行上下移動(dòng)；當(dāng)所述移動(dòng)桿向下移動(dòng)到一定程度時(shí)所述傳感器的一端同所述移動(dòng)桿相接觸。

3.如權(quán)利要求1所述的掩膜板存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述傳感器為電壓敏感型傳感器。

4.如權(quán)利要求1所述的掩膜板存儲(chǔ)裝置，其特征在于，所述傳感器通過固定螺栓固定于所述壓縮空氣存儲(chǔ)端口上。