[實(shí)用新型]一種反射式暗場(chǎng)顯微鏡的照明系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020577904.8
• 申請(qǐng)日: 2010-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN201886198U
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔志英;丁彩玉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波永新光學(xué)股份有限公司
• 主分類號(hào): G02B21/10
• 分類號(hào): G02B21/10;F21V17/00
• 代理公司: 寧波誠(chéng)源專利事務(wù)所有限公司 33102
• 代理人: 徐雪波

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯微鏡領(lǐng)域，具體涉及一種反射式暗場(chǎng)顯微鏡的照明系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，大規(guī)模集成電路的集成度不斷提高，在制造過(guò)程中的檢測(cè)以及金相的分析、測(cè)量均需要涉及到反射式暗場(chǎng)顯微鏡的使用。反射式暗場(chǎng)顯微鏡是利用光學(xué)上的丁達(dá)爾效應(yīng)，使通過(guò)聚光系統(tǒng)的光源中央光束被環(huán)形光闌阻擋，不通過(guò)物鏡的透鏡組直接照射于標(biāo)本上，而是使照明光線傾斜地照射于標(biāo)本上，使發(fā)出漫反射光的標(biāo)本被物鏡接收成像，最高可達(dá)到6nm的分辨率。

現(xiàn)有技術(shù)中，關(guān)于反射式暗場(chǎng)顯微鏡的照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)，有同軸拋物線和同軸雙曲線反射曲面兩種，這兩種照明系統(tǒng)中，經(jīng)所述反射拋物曲面發(fā)射后的光會(huì)聚的焦點(diǎn)均落在反射式暗場(chǎng)顯微鏡的物鏡中心軸上，并且具有不同程度的缺點(diǎn)：1)、同軸拋物線反射曲面計(jì)算簡(jiǎn)單，但缺點(diǎn)是對(duì)軸外光的利用率比較低，照明范圍小；2)、同軸雙曲線反射曲面可彌補(bǔ)同軸拋物線反射曲面的缺點(diǎn)，但缺點(diǎn)是在高倍物鏡和工作距離短的情況下利用率又會(huì)不足，且計(jì)算復(fù)雜度很高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)提供一種計(jì)算簡(jiǎn)單、在各個(gè)倍率下均能夠有效利用光能且照明均勻的反射式暗場(chǎng)顯微鏡的照明系統(tǒng)。

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為：該反射式暗場(chǎng)顯微鏡的照明系統(tǒng)，包括發(fā)光源，環(huán)形光闌，反射拋物曲面，其特征在于：所述反射拋物曲面的安裝位置滿足以下要求：從所述發(fā)光源發(fā)出的光經(jīng)所述環(huán)形光闌平行入射至所述反射拋物曲面后，經(jīng)所述反射拋物曲面發(fā)射后的光會(huì)聚的焦點(diǎn)偏離所述反射式暗場(chǎng)顯微鏡的物鏡中心軸，并且所述反射式暗場(chǎng)顯微鏡的載物臺(tái)設(shè)置在所述反射拋物曲面的反射光域內(nèi)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：將反射拋物曲面設(shè)置的位置滿足經(jīng)過(guò)反射拋物曲面發(fā)射后的光會(huì)聚的焦點(diǎn)偏離所述反射式暗場(chǎng)顯微鏡的物鏡中心軸后，可有效提高光源的利用率，簡(jiǎn)化計(jì)算過(guò)程。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中反射式暗場(chǎng)顯微鏡的照明系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及光路示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

請(qǐng)參見圖1所示的反射式暗場(chǎng)顯微鏡的照明系統(tǒng)，其包括發(fā)光源(圖中未示出)，環(huán)形光闌1，反射拋物曲面2，其中所述反射拋物曲面2的安裝位置滿足以下要求：從所述發(fā)光源發(fā)出的光1-1經(jīng)所述環(huán)形光闌1平行入射至所述反射拋物曲面2后，經(jīng)所述反射拋物曲面2發(fā)射后會(huì)聚的焦點(diǎn)F1、F2偏離所述反射式暗場(chǎng)顯微鏡的物鏡組3的中心軸O1O2，并且所述反射式暗場(chǎng)顯微鏡的載物臺(tái)4設(shè)置在所述反射拋物曲面2的反射光域內(nèi)。