[實(shí)用新型]單晶片雙對(duì)電極石英晶體微量天平探頭裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020574666.5 | 申請(qǐng)日： | 2010-10-25 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201876398U | 公開(kāi)（公告）日： | 2011-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 臧衛(wèi)國(guó);于錢(qián);楊東升;院小雪;易忠 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N5/00 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N5/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 100094 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶片 電極 石英 晶體 微量 天平 探頭 裝置 | ||
1.一種單晶片雙對(duì)電極石英晶體微量天平探頭裝置，包括探頭蓋、開(kāi)口擋板(1)、晶片組件(2)、溫控組件(3)、法蘭、電連接組件(4)、電路組件(5)和外殼，所述開(kāi)口擋板(1)由擋板(11)和透明板(12)組成；所述晶片組件(2)由傳感晶片(21)、參考晶片(22)、傳感晶片彈簧(23)、參考晶片彈簧(24)和晶片底座(25)組成；所述電路組件(5)由振蕩差頻厚膜電路(51)、連接電路板(52)、插座(53)組成；所述電連接組件(4)由絕熱墊(41)、電連接片(42)、固定螺母(43)、電連接柱(44)、連接線(45)組成；其特征在于，晶片組件(2)中的傳感晶片(21)上方開(kāi)設(shè)有能夠接受來(lái)自外部的污染沉積物的傳感窗口，晶片組件(2)中參考晶片上方開(kāi)口對(duì)應(yīng)在前外殼上設(shè)置有透明板，包括傳感晶片(21)和參考晶片(22)的石英晶片通過(guò)傳感晶片彈簧(23)和參考晶片彈簧(24)固定在晶片底座(25)上，彈簧同時(shí)作為傳感晶片(21)和參考晶片(22)的電性連接通道，晶片底座(25)依靠四個(gè)電連接柱(44)，通過(guò)電連接片(42)、連接線(45)與連接電路板(52)電性連接，連接電路板(52)上的振蕩差頻厚膜電路(51)驅(qū)動(dòng)傳感晶片(21)和參考晶片(22)產(chǎn)生10MHz左右的振蕩信號(hào)并差頻輸出方波信號(hào)，通過(guò)插座(53)引出到外部的石英晶體微量天平控制器進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。
2.權(quán)利要求1所述的單晶片雙對(duì)電極石英晶體微量天平探頭裝置，其特征在于傳感晶片彈簧(23)和參考晶片彈簧(24)作為晶片的電性連接通道、熱傳遞通道和機(jī)械連接機(jī)構(gòu)。
3.權(quán)利要求1所述的單晶片雙對(duì)電極石英晶體微量天平探頭裝置，其特征在于所述溫控組件(3)由均熱板(31)、溫度傳感器(32)、加熱器(33)、保護(hù)板(34)、熱阻器(35)、絕緣墊(36)組成。
4.權(quán)利要求1所述的單晶片雙對(duì)電極石英晶體微量天平探頭裝置，其特征在于振蕩差頻厚膜電路(51)集成了兩套晶片驅(qū)動(dòng)芯片和一套D觸發(fā)器差頻芯片。?
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