[實用新型]用于防止氣流倒灌的截流裝置

有效

• 申請號: 201020565115.2
• 申請日: 2010-10-16
• 公開（公告）號: CN201843811U
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發明（設計）人: 任瑞龍;陳立峰;邢猛
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F04D29/00
• 分類號: F04D29/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種截流裝置。

背景技術

在半導體生產型企業的高真空機臺的生產過程中，比如在用于離子注入工藝(IMP)的高真空的機臺生產過程中，請參閱圖1，通常離子注入工藝的工藝腔4通過一個氣流通道5與渦輪泵3相連，所述渦輪泵3的另一端與干式真空泵6相連。為了減緩氣流對渦輪泵3的沖擊，保護渦輪泵3，在所述氣流通道5內通過固定軸2固定設有若干截流擋片1，所述截流擋片與氣流的方向通常固定為15-45度。然而，有時會出現因渦輪泵故障而發生氣流回灌的現象。當氣流回灌時，由于截流擋片是固定不動的，不能在氣流回灌的時候封住(或關閉)氣流通道，因而使得處于真空后段內的顆粒物質隨著回灌氣流沖入處于真空前段的工藝腔內，導致產品受到上述顆粒物質污染，嚴重的會導致產品報廢，以致影響產品良率。

因此，如何提供一種可以防止氣流倒灌的截流裝置是本領域亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于防止氣流倒灌的截流裝置，在減緩氣流對渦輪泵的沖擊的前提下，可以防止氣流倒灌。

為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種用于防止氣流倒灌的截流裝置，包括位于氣流通道內的若干截流擋片，還包括與截流擋片相應數量的位置限定器，所述位置限定器固設于所述氣流通道內，每個截流擋片與各自的位置限定器可轉動式連接，氣流正常時，所述位置限位器擋住所述截流擋片，將截流擋片與氣流流向的夾角限定在一便于氣流通過的角度；氣流回灌時，當截流擋片轉動到與氣流流向接近垂直或垂直時，所有截流擋片整體卡在氣流通道內將氣流通道封閉。

所述位置限定器是三角形支架，所述截流擋片與各自的位置限定器通過轉軸可轉動式連接。

所述三角形支架是直角三角形支架，其一條直角邊與氣流方向平行，其一個銳角頂端設置所述轉軸，氣流正常流動時，截流擋片平行抵靠于所述直角三角形支架的斜邊。

所述直角三角形支架的斜邊與氣流流向的夾角為15-45度的范圍內。

所述直角三角形支架的斜邊與氣流流向的夾角為30度。

所述截流擋片是圓形的，所述轉軸設于所述截流擋片的三分一處。

所述氣流通道的一端接工藝腔，另一端與渦輪泵相連。

所述渦輪泵的另一端與干式真空泵相連。

本實用新型的有益效果如下：

這種用于防止氣流倒灌的截流裝置，結構簡單，使用方便。通過將現有的固定的截流擋片改成可以轉動的截流擋片，并設置一位置限定器，不但可以在正常情況下，通過位置限定器來保證截流擋片與氣流方向的夾角為15-45度，從而來保證氣流正常流動；而且，在氣流回灌時，截流擋片可以轉動到與氣流流向接近垂直或垂直的位置并將氣流通道封住，從而防止處于真空后段內的顆粒物質隨著回灌氣流沖入處于真空前段的工藝腔內，導致產品受到上述顆粒物質污染，而影響產品良率。

附圖說明

本實用新型的用于防止氣流倒灌的截流裝置由以下的實施例及附圖給出。

圖1是現有的截流裝置的結構示意圖；

圖2是本實用新型的用于防止氣流倒灌的截流裝置的結構示意圖(抽氣狀態)；

圖3是本實用新型的用于防止氣流倒灌的截流裝置的結構示意圖(回灌狀態)；

圖4是位置限定器的結構示意圖；

圖5是抽氣狀態時截流擋片的位置示意圖；

圖6是回灌狀態時截流擋片的位置示意圖。

圖中，1-截流擋片、2-固定軸、2’-轉軸、3-渦輪泵、4-工藝腔、5-氣流通道、6-干式真空泵、7-位置限定器、71-轉軸孔、α-截流擋片與氣流流向的夾角。

具體實施方式

以下將對本實用新型的用于防止氣流倒灌的截流裝置作進一步的詳細描述。

下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。