[實用新型]防潮濕傳感器支架

有效

• 申請號: 201020564838.0
• 申請日: 2010-10-16
• 公開（公告）號: CN201844861U
• 公開（公告）日: 2011-05-25
• 發明（設計）人: 王學利
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01F23/26
• 分類號: G01F23/26
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種支架，尤其涉及一種防潮濕傳感器支架。

背景技術

在半導體生產領域內，廣泛的使用電容傳感器來感知容器(比如設備中的壓力真空容器PVV)內的液位變化。請參閱圖1-2，圖1所示為現有的防潮濕傳感器支架的使用狀態示意圖；圖2所示為現有的防潮濕傳感器支架的結構示意圖。從圖1-2中可見，現有的濕傳感器支架，用于將傳感器3固定于容器2外壁，包括支架體1，所述支架體1上設有用于卡住容器2的豎直方向卡槽11，所述支架體1上還設有水平方向的傳感器容置通孔(圖中未示意)。也就是說，現有的方法是利用支架體1將電容傳感器3固定于容器2的外部，使得電容傳感器3緊貼于所述容器2的外表面，從而，通過傳感器3來感知容器2內液位，從而達到連續供應的目的。

但是，由于壓力真空容器的往復動作使其自身溫度降低。而當壓力真空容器工作在濕度較大的環境中，則非常容易產生冷凝水，沿著容器外側壁留下的冷凝水會流到支架，進而流到支架內部的傳感器，從而影響傳感器對液位變化的識別，以致影響化學品供應。

因此，如何提供一種防潮濕傳感器支架是本領域亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種防潮濕傳感器支架，可以及時清除流到支架上的冷凝水，從而有效將冷凝水和傳感器隔離。

為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案：

本實用新型的有益效果如下：

一種防潮濕傳感器支架，用于將傳感器固定于容器外壁，包括支架體，所述支架體上設有用于卡住容器的豎直方向卡槽，所述支架體還設有水平方向的傳感器容置通孔，所述支架體的頂板是多孔板，所述防潮濕傳感器支架還包括導流管和負壓源，所述多孔板的底端通過導流管與負壓源連通。

所述支架體整體呈長方體。

所述豎直方向卡槽的兩端貫穿所述支架體的兩底面并在一側面上形成開口，所述豎直方向卡槽與所述容器的外周緣相匹配，所述水平方向的傳感器容置通孔的一端接通所述豎直方向卡槽，另一端貫穿于所述支架體的另一側面。

所述豎直方向卡槽包括一個弧形槽和一個梯形槽，所述弧形槽的開口端通過梯形槽延伸到所述支架體的側面并在所述側面形成開口，且所述梯形槽由內向外逐步擴大。

所述多孔板是塑料纖維板。

所述多孔板具有多個孔，各孔的孔徑范圍在0.5-1μm。

所述多孔板的孔隙率約為35-45％。

所述多孔板的厚度為0.5-2mm。

本實用新型防潮濕傳感器支架，結構簡單、使用方便，通過將支架體的頂板改成多孔板，通過多孔板來吸附沿容器管壁流下的冷凝水，并通過負壓源經接于所述多孔板的底端的導流管將多孔板所吸附的冷凝水及時抽吸排除，從而避免冷凝水靠近傳感器，從而保證傳感器對容器內液位變化的正確識別，實現連續供應容器內液態化學品的目的。

附圖說明

本實用新型的防潮濕傳感器支架由以下的實施例及附圖給出。

圖1是現有的防潮濕傳感器支架的使用狀態示意圖；

圖2是現有的防潮濕傳感器支架的結構示意圖；

圖3是本實用新型的防潮濕傳感器支架的結構示意圖；

圖4是本實用新型的防潮濕傳感器支架的支架體的結構示意圖；

圖5是圖4的左視圖；

圖6是容器的結構示意圖；

圖7是本實用新型的防潮濕傳感器支架的使用狀態示意圖。

圖中，1-支架體、11-卡槽、12-傳感器容置通孔、13-頂板、14-前側板、15-右側板、16-左側板、2-容器、3-傳感器、4-負壓源，5-導流管。

具體實施方式

以下將對本實用新型的防潮濕傳感器支架作進一步的詳細描述。

下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。