技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體單晶硅制程設(shè)備，具體涉及到一種具有保溫潔凈和節(jié)能效果的氮?dú)夤瘛?/p>

背景技術(shù)

在單晶硅的制程中，硅片在經(jīng)過(guò)拋光清洗之后必須要經(jīng)過(guò)干燥處理，才能進(jìn)入下一個(gè)制程。

現(xiàn)有技術(shù)對(duì)硅片的干燥主要是通過(guò)充氮配合甩干機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn)，但是此種方式主要存在以下的缺點(diǎn)：

第一，普通的甩干機(jī)一次只能放置兩盒硅片，因此以來(lái)甩干機(jī)的方式極大程度上限制了生產(chǎn)的數(shù)量，影響生產(chǎn)效率；

第二，甩干機(jī)的潔凈度較低，導(dǎo)致影響產(chǎn)品質(zhì)量，無(wú)法滿(mǎn)足TDH反顆粒現(xiàn)象測(cè)試；

第三，甩干機(jī)在高速甩干時(shí)，氣體與產(chǎn)品摩擦產(chǎn)生大量的靜電，存在一定的安全隱患。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種保溫潔凈節(jié)能的氮?dú)夤?，以解決現(xiàn)有技術(shù)的單晶硅干燥設(shè)備生產(chǎn)效率低下，產(chǎn)品質(zhì)量較差且有靜電產(chǎn)生影響安全的技術(shù)問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案：

一種保溫潔凈節(jié)能的氮?dú)夤瘛ㄒ还耋w，該柜體內(nèi)設(shè)置有若干產(chǎn)品擺放臺(tái)，還包括：一氮?dú)饧訜嵫b置、一潔凈節(jié)能裝置以及控制系統(tǒng)，該潔凈節(jié)能裝置分別與該氮?dú)饧訜嵫b置和該柜體聯(lián)通，用以將該氮?dú)饧訜嵫b置加熱的氮?dú)膺^(guò)濾并將其吹入柜體內(nèi)，將產(chǎn)品烘干，該控制系統(tǒng)控制所述氮?dú)饧訜嵫b置的溫度和氮?dú)饬髁恳约霸摑崈艄?jié)能裝置的風(fēng)速。

依照本實(shí)用新型較佳實(shí)施例所述的氮?dú)夤?，所述氮?dú)饧訜嵫b置進(jìn)一步包括：一外殼，該外殼上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口；一加熱腔，該加熱腔設(shè)置在所述外殼內(nèi)部，內(nèi)部設(shè)置有若干加熱元件，各加熱元件之間連接有若干導(dǎo)流板；以及保溫棉，設(shè)置在該外殼與該加熱腔之間。

依照本實(shí)用新型較佳實(shí)施例所述的氮?dú)夤?，所述潔凈?jié)能裝置進(jìn)一步包括設(shè)置在柜體頂部的靜電消除器、高效過(guò)濾網(wǎng)以及風(fēng)機(jī)。

依照本實(shí)用新型較佳實(shí)施例所述的氮?dú)夤?，所述氮?dú)饧訜嵫b置還包括若干測(cè)溫點(diǎn)。

依照本實(shí)用新型較佳實(shí)施例所述的氮?dú)夤?，所述柜體內(nèi)設(shè)置有回風(fēng)口，用于對(duì)柜體內(nèi)的氮?dú)夥磸?fù)利用。

依照本實(shí)用新型較佳實(shí)施例所述的氮?dú)夤瘢龉耋w底部設(shè)置有若干滾輪。

由于采用了以上的技術(shù)特征，使得本實(shí)用新型相比于現(xiàn)有技術(shù)具有如下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果：

第一，本實(shí)用新型在氮?dú)膺M(jìn)氣口之前設(shè)置氮?dú)饧訜嵫b置，并且經(jīng)過(guò)濾消除靜電后再用來(lái)干燥氣體，可控制溫度和濕度，提高氮?dú)饫寐剩岣吡水a(chǎn)品的品質(zhì)；

第二，本實(shí)用新型無(wú)需使用甩干機(jī)，而用氮?dú)庠诖笮偷牡獨(dú)夤裰兄苯痈稍?，可以提高產(chǎn)量；

第三，本實(shí)用新型可以對(duì)氮?dú)鉁囟冗M(jìn)行控制，可以保證干燥的效率，并且氮?dú)饣厥罩貜?fù)利用，節(jié)能效果好。

當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型內(nèi)容的任何一個(gè)具體實(shí)施例，并不一定同時(shí)具有以上全部的技術(shù)效果。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一種保溫潔凈節(jié)能的氮?dú)夤竦氖疽鈭D；

圖2是氮?dú)饧訜嵫b置的示意圖；

圖3是圖1的主視圖。

具體實(shí)施方式

為便于理解，以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例做進(jìn)一步詳細(xì)敘述。

請(qǐng)參考圖1，一種保溫潔凈節(jié)能的氮?dú)夤瘛ㄒ还耋w10，柜體10底部設(shè)置多個(gè)滾輪11，可在車(chē)間內(nèi)移動(dòng)。柜體10內(nèi)設(shè)置有若干產(chǎn)品擺放臺(tái)。

還包括氮?dú)饧訜嵫b置30和潔凈節(jié)能裝置20以及控制系統(tǒng)，潔凈節(jié)能裝置20分別與氮?dú)饧訜嵫b置30和柜體10聯(lián)通，用以將氮?dú)饧訜嵫b置30加熱的氮?dú)馔ㄟ^(guò)管道32運(yùn)送到潔凈節(jié)能裝置20過(guò)濾并將其吹入柜體10內(nèi)，將產(chǎn)品烘干，控制系統(tǒng)控制氮?dú)饧訜嵫b置30的溫度和氮?dú)饬髁恳约皾崈艄?jié)能裝置20的風(fēng)速。

請(qǐng)參考圖2，是氮?dú)饧訜嵫b置的結(jié)構(gòu)剖面示意圖，可見(jiàn)，其包括外殼33，外殼33內(nèi)的加熱腔以及在加熱腔和外殼之間的填充的保溫棉34，外殼33通過(guò)支架31安裝在地面上。。

外殼33上設(shè)置有進(jìn)氣口36和出氣口37，進(jìn)氣口36聯(lián)通至加熱腔35，將氮?dú)馑腿爰訜崆?5內(nèi)，而出氣口37，則從加熱腔35聯(lián)通至管道32輸送到柜體10，保溫棉34，設(shè)置在外殼33與加熱腔35之間，優(yōu)選為硅酸鋁棉材質(zhì)，起到保溫的作用。

加熱腔35設(shè)置在外殼33內(nèi)部，內(nèi)部設(shè)置有若干加熱元件38，為增大受熱面積，加熱元件38為彎曲的管狀，加熱元件38之間連接有若干導(dǎo)流板39，導(dǎo)流板39和加熱元件38以及加熱腔35的外壁都是不銹鋼材質(zhì)。

為便于測(cè)量溫度，在氮?dú)饧訜嵫b置30上設(shè)置了若干個(gè)測(cè)溫點(diǎn)351，從而保證可以方便測(cè)得氮?dú)獾臏囟?，整個(gè)裝置通過(guò)法蘭331固定。