[實用新型]一種等離子體浸沒離子注入系統有效
| 申請號： | 201020247215.0 | 申請日： | 2010-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN201785483U | 公開（公告）日： | 2011-04-06 |
| 發明（設計）人： | 李超波;劉杰;汪明剛;夏洋;羅威;羅小晨;李勇滔 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | C23C14/48 | 分類號： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京市德權律師事務所 11302 | 代理人： | 王建國 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 等離子體 浸沒 離子 注入 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種等離子體浸沒離子注入系統，包括離子注入腔室、電源部分、注入電極部分和真空部分，其特征在于：還包括摻雜源腔室和隔板；
所述摻雜源腔室和所述離子注入腔室通過隔板相連。
2.如權利要求1所述的等離子體浸沒離子注入系統，其特征在于：所述摻雜源腔室內的氣壓范圍為0.1Pa-1000Pa。
3.如權利要求1所述的等離子體浸沒離子注入系統，其特征在于：所述離子注入腔室內的氣壓范圍為0.1mTorr-10mTorr。
4.如權利要求1所述的等離子體浸沒離子注入系統，其特征在于：所述隔板上均勻分布若干個圓孔。
5.如權利要求4所述的等離子體浸沒離子注入系統，其特征在于：所述圓孔直徑大小范圍為0.1mm到1mm，所述圓孔面積占空比為5％到30％。
6.如權利要求4所述的等離子體浸沒離子注入系統，其特征在于：所述隔板厚度范圍為1mm到1cm。
7.如權利要求4所述的等離子體浸沒離子注入系統，其特征在于：所述隔板由聚四氟或石墨制成。
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