[實用新型]帶有真空裝卸室的鍍膜機

無效

• 申請號: 201020240912.3
• 申請日: 2010-06-28
• 公開（公告）號: CN201801587U
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 杰弗瑞·哈丁
• 申請（專利權）人: 杰弗瑞·哈丁
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;趙鎮勇

技術領域

本實用新型涉及一種太陽能集熱管的鍍膜機，尤其涉及一種帶有真空裝卸室的鍍膜機。

背景技術

如圖01所示，集熱管是一種太陽能集熱元件，它像一個拉長的暖水瓶膽，包括內玻璃管(吸熱管)01、太陽選擇性吸收涂層02、真空夾層03、罩玻璃管04、支承件(卡子)05、吸氣劑06、吸氣膜07等。由兩根同心圓玻璃管組成，內、外玻璃管間抽成真空，太陽選擇性吸收表面(涂層、膜系)沉積在吸熱管的外表面構成吸熱體，將太陽光能轉換為熱能，加熱內玻璃管內的傳熱工質。

全玻璃真空集熱管采用單端開口的設計，通過一端內、外管環形熔封起來，其吸熱管另一端是密閉半球形圓頭，帶有吸氣劑的彈簧卡子將吸熱體玻璃管(以下簡稱吸熱管)圓頭支承在罩玻璃管(外玻璃管)內。

現有技術中，用于長吸熱管選擇性吸收涂層制備的方式是：

在真空腔室中以金屬圓柱體(也有用長方體)作為濺射電極，在真空的情況下進行磁控濺射鍍膜的過程，金屬電極一般情況下比吸熱管要長。在濺射時，在真空中充入氬氣，由于氬氣離子撞擊金屬電極，金屬原子從金屬電極表面游離出。游離出的金屬原子沉積在吸熱管的表面上和鍍膜室中的其他構件上，吸熱表面的涂層由金屬及金屬和非金屬的原子組成，其中的非金屬是由金屬與腔室中的氣體反應生成的，例如注入腔室中的氮氣。

如圖02、03所示，標準的單腔室濺射鍍膜機主要用于批量鍍制玻璃管(通常每批30～60支管)，包括鍍膜室011、鍍膜室墻壁012、吸收管013、圓形傳送帶014、支架015、濺射靶016、擋板017、鍍膜室的門018、布氣管042、抽氣孔041等。它是一個直徑約0.7～1.2米，垂直高度約2.0～2.5米(比吸熱管長約0.7米)的帶有抽真空系統的圓柱形腔室。可能會設一個、兩個或三個濺射電極，垂直安置在腔室內。在兩個或多個電極的情況下，在濺射電極中間會設置金屬擋板，以減少濺射原子對其他電極的污染。放置在腔室中的吸熱管，在一個外徑略低于腔室內徑的圓形旋轉支架上作公轉和自轉運動。裝吸熱管時，將吸熱管的開口端向下套在長度約350mm的支桿上。在濺射鍍膜的過程中，圓形旋轉支架依靠電機牽引以腔室的中心為軸心旋轉，同時吸熱管也在圓形旋轉支架上勻速自轉，以保證膜層均勻一致。在以往的工藝中，吸熱管在鍍膜結束后，要充入大氣，然后打開鍍膜機的門，手動將鍍好膜的吸熱管卸下，然后將新管裝入鍍膜室。

上述現有技術至少存在以下缺點：

當鍍膜機的門打開時，大氣中的潮濕空氣會進入鍍膜機內，導致大量水蒸氣被吸附在鍍膜腔室內壁和其他構件表面，特別是隨著不斷的鍍膜，鍍膜室內壁和其他構件表面沉積的涂層越來越厚，水蒸氣在膜層上的吸附能力越來越強。將一批未鍍膜的吸熱管裝入鍍膜室后，關門開始抽真空，但是由于水蒸氣吸附在腔室內壁上釋放緩慢，達到濺射要求的真空度將非常困難，大大延長了抽真空的時間。因此，每一批吸熱管的總鍍膜時間會增加。因此，抽真空時間取決于進入鍍膜室中空氣的潮濕度，也取決于沉積在鍍室內部膜的厚度。另外，在抽完真空后的濺射鍍膜過程中，由于鍍膜室內壁上的膜層仍持續釋放水蒸氣，尤其是在整個濺射鍍膜的過程中，鍍膜室中的內壁和構件表面的溫度將不可避免的增加，水蒸氣釋放的速率會不斷增長。水蒸氣的存在會導致膜層的氧化，從而降低選擇性吸收性能，使膜的質量變差，水蒸氣含量的不斷變化還會導致每一次鍍膜的重復性很差。鍍膜的質量和生產效率都很低。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種鍍膜質量高、生產效率高的帶有真空裝卸室的鍍膜機。

本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的：

本實用新型的帶有真空裝卸室的鍍膜機，包括鍍膜室，所述鍍膜室連接有裝卸室，所述裝卸室與鍍膜室之間設有通道，所述通道處設有隔離門；

所述裝卸室內設有吸熱管輸送機，還設有吸熱管傳送機械手；

所述裝卸室與鍍膜室之間真空密封，所述裝卸室和鍍膜室分別設有單獨的真空抽氣口，所述裝卸室的壁上設有裝卸室門。