[實用新型]一種柔性集成化超聲換能器無效
| 申請號： | 201020231298.4 | 申請日： | 2010-06-18 |
| 公開（公告）號： | CN201804553U | 公開（公告）日： | 2011-04-20 |
| 發明（設計）人： | 劉玉榮;姚若河;韋崗 | 申請（專利權）人： | 華南理工大學 |
| 主分類號： | G10K9/122 | 分類號： | G10K9/122 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柔性 集成化 超聲 換能器 | ||
【權利要求書】：
1.一種柔性集成化超聲換能器，其特征在于由有機薄膜晶體管和壓電傳感器集成而成，具體是依次由基底、防潮隔離層、源漏電極、半導體薄膜層、柵介質層、柵電極層、電信號耦合層、壓電薄膜層、電極層和超聲耦合層構成。
2.根據權利要求1所述的超聲換能器，其特征在于所述基底采用聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)；防潮隔離層為二氧化硅或氮化硅；源漏電極為鋁或銀；半導體薄膜層為有機半導體材料；柵介質層為有機絕緣材料；柵電極層為鋁或銀；電信號耦合層為環氧樹脂薄膜層；壓電薄膜層為聚偏氟乙烯PVDF壓電薄膜；電極層為鋁或銀；超聲耦合層為環氧樹脂薄膜。
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