[實(shí)用新型]換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020223797.9 | 申請(qǐng)日： | 2010-06-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201751104U | 公開（公告）日： | 2011-02-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃怡文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 宸沅國際股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B57/02 | 分類號(hào)： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 天津三元專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 12203 | 代理人： | 高鳳榮 |
| 地址： | 中國臺(tái)*** | 國省代碼： | 中國臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 換濾芯時(shí)不 影響 研磨 作業(yè) 產(chǎn)出 結(jié)構(gòu) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，主要由一混酸稀釋晶圓研磨原液的混酸槽、至少一只濾除過大微粒的過濾器、及一儲(chǔ)備并供應(yīng)拌妥晶圓研磨液到晶圓研磨機(jī)的供應(yīng)槽管接而成，其特征在于：該些過濾器不設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸出管，而設(shè)于供應(yīng)槽的供應(yīng)槽輸入管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的換濾芯時(shí)不影響后研磨作業(yè)的晶圓研磨液產(chǎn)出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述過濾器濾芯孔徑為6μ以至于1μ。
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