[實用新型]一體化真空充氣系統無效
| 申請號： | 201020223781.8 | 申請日： | 2010-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN201725770U | 公開（公告）日： | 2011-01-26 |
| 發明（設計）人： | 鄒仲秋 | 申請（專利權）人： | 上海易璽電子科技有限公司;上海嘉定泰和玻璃廠 |
| 主分類號： | H01J9/395 | 分類號： | H01J9/395 |
| 代理公司： | 上海集信知識產權代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201700 上海市青浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一體化 真空 充氣 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種一體化真空充氣系統，其特征在于，
包括主機和控制箱，主機包括機箱、均設于機箱內的抽真空機構和充氣機構、設于機箱上并分別與抽真空機構和充氣機構相連的作業臺；控制箱分別與抽真空機構和充氣機構進行電連接。
2.如權利要求1所述的一體化真空充氣系統，其特征在于，
所述的抽真空機構包括機械泵、低真空管路、高真空油擴散泵和高真空管路，低真空管路分別與機械泵、作業臺相連通；高真空管路一端也與作業臺相連通，另一端與高真空油擴散泵相連，并連接至機械泵。
3.如權利要求2所述的一體化真空充氣系統，其特征在于，
所述的充氣機構包括儲氣罐和充氣管路，儲氣罐分別與充氣管路相連并連接至作業臺。
4.如權利要求3所述的一體化真空充氣系統，其特征在于：
所述的低真空管路和高真空管路上還分別設有氣動閥；
所述的充氣管路上還分別設有減壓閥和充氣閥；
所述的控制箱與各氣動閥、減壓閥、充氣閥以及機械泵、高真空油擴散泵電連接。
5.如權利要求3所述的一體化真空充氣系統，其特征在于：
所述的儲氣罐包括氬氣罐和氪氣罐。
6.如權利要求2所述的一體化真空充氣系統，其特征在于：
該系統還包括一冷水機，通過循環水管與高真空油擴散泵相連接。
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